ການນໍາໃຊ້ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບໃນຂະແໜງການເຄິ່ງຕົວນຳ

ວັດສະດຸທີ່ຕ້ອງການສຳລັບຊິ້ນສ່ວນຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍແສງ

ໃນຂົງເຂດເຄິ່ງຕົວນຳ,ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບວັດສະດຸສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນອຸປະກອນທີ່ສຳຄັນສຳລັບການຜະລິດວົງຈອນປະສົມປະສານ, ເຊັ່ນ: ໂຕະເຮັດວຽກຊິລິກອນຄາໄບ, ລາງລົດໄຟນຳທາງ,ຕົວສະທ້ອນແສງ, ຫົວດູດເຊລາມິກ, ແຂນ, ແຜ່ນຂັດ, ອຸປະກອນຕິດຕັ້ງ, ແລະອື່ນໆ ສຳລັບເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍຫີນ.

ຊິ້ນສ່ວນເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບສຳລັບອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ອຸປະກອນທາງດ້ານແສງ

● ແຜ່ນຂັດເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ. ຖ້າແຜ່ນຂັດເຮັດດ້ວຍເຫຼັກຫຼໍ່ ຫຼື ເຫຼັກກາກບອນ, ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງມັນຈະສັ້ນ ແລະ ຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຂອງມັນຈະສູງ. ໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງແຜ່ນຊິລິກອນ, ໂດຍສະເພາະໃນລະຫວ່າງການຂັດ ຫຼື ຂັດດ້ວຍຄວາມໄວສູງ, ການສວມໃສ່ ແລະ ການຜິດຮູບທາງຄວາມຮ້ອນຂອງແຜ່ນຂັດເຮັດໃຫ້ມັນຍາກທີ່ຈະຮັບປະກັນຄວາມຮາບພຽງ ແລະ ຂະໜານຂອງແຜ່ນຊິລິກອນ. ແຜ່ນຂັດທີ່ເຮັດດ້ວຍເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບມີຄວາມແຂງສູງ ແລະ ການສວມໃສ່ຕ່ຳ, ແລະ ຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນແມ່ນຄືກັນກັບແຜ່ນຊິລິກອນ, ສະນັ້ນມັນສາມາດບົດ ແລະ ຂັດດ້ວຍຄວາມໄວສູງ.
● ອຸປະກອນເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ. ນອກຈາກນັ້ນ, ເມື່ອຜະລິດແຜ່ນຊິລິກອນ, ພວກມັນຈຳເປັນຕ້ອງໄດ້ຜ່ານການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ມັກຈະຖືກຂົນສົ່ງໂດຍໃຊ້ອຸປະກອນຊິລິກອນຄາໄບ. ພວກມັນທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນ ແລະ ບໍ່ທຳລາຍ. ທາດຄາບອນຄ້າຍຄືເພັດ (DLC) ແລະ ການເຄືອບອື່ນໆສາມາດນຳໃຊ້ກັບພື້ນຜິວເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເສຍຫາຍຂອງແຜ່ນຊິລິກອນ, ແລະ ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຈາກການແຜ່ລາມ.
● ໂຕະເຮັດວຽກຊິລິກອນຄາໄບ. ຍົກຕົວຢ່າງໂຕະເຮັດວຽກໃນເຄື່ອງພິມລິດໂຕກຣາຟີ, ໂຕະເຮັດວຽກສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຮັບຜິດຊອບໃນການເຮັດໃຫ້ການເຄື່ອນໄຫວການຮັບແສງສຳເລັດ, ເຊິ່ງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການເຄື່ອນໄຫວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ການເຄື່ອນໄຫວຂະໜາດໃຫຍ່, ແລະລະດັບນາໂນທີ່ມີອິດສະລະພາບຫົກອົງສາ. ຕົວຢ່າງ, ສຳລັບເຄື່ອງພິມລິດໂຕກຣາຟີທີ່ມີຄວາມລະອຽດ 100nm, ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຊ້ອນທັບ 33nm, ແລະຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນ 10nm, ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການວາງຕຳແໜ່ງໂຕະເຮັດວຽກແມ່ນຕ້ອງການໃຫ້ບັນລຸ 10nm, ຄວາມໄວໃນການກ້າວ ແລະ ການສະແກນພ້ອມໆກັນຂອງແຜ່ນໜ້າກາກ-ຊິລິກອນແມ່ນ 150nm/s ແລະ 120nm/s ຕາມລຳດັບ, ແລະຄວາມໄວໃນການສະແກນໜ້າກາກແມ່ນໃກ້ກັບ 500nm/s, ແລະໂຕະເຮັດວຽກແມ່ນຕ້ອງມີຄວາມຖືກຕ້ອງ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງການເຄື່ອນໄຫວສູງຫຼາຍ.

ແຜນວາດພາບຂອງໂຕະເຮັດວຽກ ແລະ ໂຕະເຄື່ອນໄຫວຈຸນລະພາກ (ບາງສ່ວນ)

● ກະຈົກເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບ. ອົງປະກອບຫຼັກໃນອຸປະກອນວົງຈອນລວມທີ່ສຳຄັນເຊັ່ນ: ເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍໄຟຟ້າມີຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນ, ຂະໜາດທີ່ສັບສົນ, ແລະໂຄງສ້າງນ້ຳໜັກເບົາທີ່ເປັນຮູ, ເຮັດໃຫ້ມັນຍາກທີ່ຈະກະກຽມອົງປະກອບເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບດັ່ງກ່າວ. ປະຈຸບັນ, ຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນວົງຈອນລວມສາກົນທີ່ສຳຄັນ, ເຊັ່ນ: ASML ໃນປະເທດເນເທີແລນ, NIKON ແລະ CANON ໃນປະເທດຍີ່ປຸ່ນ, ໃຊ້ວັດສະດຸຈຳນວນຫຼວງຫຼາຍເຊັ່ນ: ແກ້ວຈຸລະພາກ ແລະ cordierite ເພື່ອກະກຽມກະຈົກສີ່ຫຼ່ຽມ, ອົງປະກອບຫຼັກຂອງເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍໄຟຟ້າ, ແລະໃຊ້ເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບເພື່ອກະກຽມອົງປະກອບໂຄງສ້າງປະສິດທິພາບສູງອື່ນໆທີ່ມີຮູບຮ່າງງ່າຍໆ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ຜູ້ຊ່ຽວຊານຈາກສະຖາບັນຄົ້ນຄວ້າວັດສະດຸກໍ່ສ້າງຂອງຈີນໄດ້ໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີການກະກຽມທີ່ເປັນເຈົ້າຂອງເພື່ອບັນລຸການກະກຽມກະຈົກເຊລາມິກຊິລິກອນຄາໄບຂະໜາດໃຫຍ່, ຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນ, ນ້ຳໜັກເບົາສູງ, ປິດລ້ອມຢ່າງຄົບຖ້ວນ ແລະອົງປະກອບທາງແສງໂຄງສ້າງ ແລະ ໜ້າທີ່ອື່ນໆສຳລັບເຄື່ອງຈັກພິມດ້ວຍໄຟຟ້າ.