ಅರೆವಾಹಕ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್‌ಗಳ ಅನ್ವಯ

ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳ ನಿಖರ ಭಾಗಗಳಿಗೆ ಆದ್ಯತೆಯ ವಸ್ತು

ಅರೆವಾಹಕ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ,ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ವರ್ಕ್‌ಟೇಬಲ್, ಗೈಡ್ ರೈಲ್‌ಗಳಂತಹ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ತಯಾರಿಕೆಗೆ ಪ್ರಮುಖ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ,ಪ್ರತಿಫಲಕಗಳು, ಸೆರಾಮಿಕ್ ಹೀರುವ ಚಕ್, ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳಿಗೆ ತೋಳುಗಳು, ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಡಿಸ್ಕ್‌ಗಳು, ಫಿಕ್ಚರ್‌ಗಳು, ಇತ್ಯಾದಿ.

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಭಾಗಗಳುಅರೆವಾಹಕ ಮತ್ತು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ

● ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಡಿಸ್ಕ್. ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಡಿಸ್ಕ್ ಅನ್ನು ಎರಕಹೊಯ್ದ ಕಬ್ಬಿಣ ಅಥವಾ ಕಾರ್ಬನ್ ಸ್ಟೀಲ್ ನಿಂದ ಮಾಡಿದ್ದರೆ, ಅದರ ಸೇವಾ ಜೀವನ ಕಡಿಮೆ ಮತ್ತು ಅದರ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕ ದೊಡ್ಡದಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಅಥವಾ ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡುವಾಗ, ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಡಿಸ್ಕ್‌ನ ಸವೆತ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ವಿರೂಪತೆಯು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮತ್ತು ಸಮಾನಾಂತರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವುದನ್ನು ಕಷ್ಟಕರವಾಗಿಸುತ್ತದೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್‌ಗಳಿಂದ ಮಾಡಿದ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಡಿಸ್ಕ್ ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಉಡುಗೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕವು ಮೂಲತಃ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳಂತೆಯೇ ಇರುತ್ತದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಇದನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದಲ್ಲಿ ಪುಡಿಮಾಡಿ ಹೊಳಪು ಮಾಡಬಹುದು.
● ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಫಿಕ್ಸ್ಚರ್. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಿದಾಗ, ಅವುಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಶಾಖ ಚಿಕಿತ್ಸೆ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಫಿಕ್ಸ್ಚರ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸಿ ಸಾಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಅವು ಶಾಖ-ನಿರೋಧಕ ಮತ್ತು ವಿನಾಶಕಾರಿಯಲ್ಲ. ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು, ವೇಫರ್ ಹಾನಿಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯ ಹರಡುವುದನ್ನು ತಡೆಯಲು ವಜ್ರದಂತಹ ಇಂಗಾಲ (DLC) ಮತ್ತು ಇತರ ಲೇಪನಗಳನ್ನು ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ಅನ್ವಯಿಸಬಹುದು.
● ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ವರ್ಕ್‌ಟೇಬಲ್. ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದಲ್ಲಿನ ವರ್ಕ್‌ಟೇಬಲ್ ಅನ್ನು ಉದಾಹರಣೆಯಾಗಿ ತೆಗೆದುಕೊಂಡರೆ, ವರ್ಕ್‌ಟೇಬಲ್ ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಎಕ್ಸ್‌ಪೋಸರ್ ಚಲನೆಯನ್ನು ಪೂರ್ಣಗೊಳಿಸಲು ಕಾರಣವಾಗಿದೆ, ಇದಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗ, ದೊಡ್ಡ-ಸ್ಟ್ರೋಕ್, ಆರು-ಡಿಗ್ರಿ-ಆಫ್-ಫ್ರೀಡಮ್ ನ್ಯಾನೋ-ಲೆವೆಲ್ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಚಲನೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, 100nm ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್, 33nm ನ ಓವರ್‌ಲೇ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು 10nm ನ ಲೈನ್ ಅಗಲವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಕ್ಕೆ, 10nm ತಲುಪಲು ವರ್ಕ್‌ಟೇಬಲ್ ಸ್ಥಾನೀಕರಣದ ನಿಖರತೆಯ ಅಗತ್ಯವಿದೆ, ಮಾಸ್ಕ್-ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಏಕಕಾಲಿಕ ಹೆಜ್ಜೆ ಮತ್ತು ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್ ವೇಗಗಳು ಕ್ರಮವಾಗಿ 150nm/s ಮತ್ತು 120nm/s ಆಗಿರುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಮಾಸ್ಕ್ ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್ ವೇಗವು 500nm/s ಗೆ ಹತ್ತಿರದಲ್ಲಿದೆ ಮತ್ತು ವರ್ಕ್‌ಟೇಬಲ್ ಅತಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಚಲನೆಯ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರಬೇಕು.

ವರ್ಕ್‌ಟೇಬಲ್ ಮತ್ತು ಮೈಕ್ರೋ-ಮೋಷನ್ ಟೇಬಲ್‌ನ ಸ್ಕೀಮ್ಯಾಟಿಕ್ ರೇಖಾಚಿತ್ರ (ಭಾಗಶಃ ವಿಭಾಗ)

● ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಚದರ ಕನ್ನಡಿ. ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳಂತಹ ಪ್ರಮುಖ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿನ ಪ್ರಮುಖ ಘಟಕಗಳು ಸಂಕೀರ್ಣ ಆಕಾರಗಳು, ಸಂಕೀರ್ಣ ಆಯಾಮಗಳು ಮತ್ತು ಟೊಳ್ಳಾದ ಹಗುರವಾದ ರಚನೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದು, ಅಂತಹ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಘಟಕಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸುವುದು ಕಷ್ಟಕರವಾಗಿದೆ. ಪ್ರಸ್ತುತ, ನೆದರ್‌ಲ್ಯಾಂಡ್ಸ್‌ನ ASML, ಜಪಾನ್‌ನ NIKON ಮತ್ತು CANON ನಂತಹ ಮುಖ್ಯವಾಹಿನಿಯ ಅಂತರರಾಷ್ಟ್ರೀಯ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಉಪಕರಣ ತಯಾರಕರು, ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳ ಪ್ರಮುಖ ಘಟಕಗಳಾದ ಚದರ ಕನ್ನಡಿಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಮೈಕ್ರೋಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಗ್ಲಾಸ್ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಡಿಯರೈಟ್‌ನಂತಹ ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತಾರೆ ಮತ್ತು ಸರಳ ಆಕಾರಗಳೊಂದಿಗೆ ಇತರ ಉನ್ನತ-ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ರಚನಾತ್ಮಕ ಘಟಕಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತಾರೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಚೀನಾ ಬಿಲ್ಡಿಂಗ್ ಮೆಟೀರಿಯಲ್ಸ್ ರಿಸರ್ಚ್ ಇನ್‌ಸ್ಟಿಟ್ಯೂಟ್‌ನ ತಜ್ಞರು ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರದ, ಸಂಕೀರ್ಣ-ಆಕಾರದ, ಹೆಚ್ಚು ಹಗುರವಾದ, ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಸುತ್ತುವರಿದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಚದರ ಕನ್ನಡಿಗಳು ಮತ್ತು ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳಿಗೆ ಇತರ ರಚನಾತ್ಮಕ ಮತ್ತು ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಸ್ವಾಮ್ಯದ ತಯಾರಿ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಬಳಸಿದ್ದಾರೆ.