Фотолитографийн машинуудын нарийн эд ангиудад илүүд үздэг материал
Хагас дамжуулагчийн салбарт,цахиурын карбид керамикматериалыг голчлон нэгдсэн хэлхээний үйлдвэрлэлийн гол тоног төхөөрөмжид ашигладаг, тухайлбал цахиурын карбидын ажлын ширээ, чиглүүлэгч төмөр зам гэх мэт.тусгалууд, керамик сорох патрон, литографийн машинуудын гар, нунтаглах диск, бэхэлгээ гэх мэт.
Цахиурын карбидын керамик эд ангиудхагас дамжуулагч болон оптик тоног төхөөрөмжийн хувьд
● Цахиурын карбидын керамик нунтаглах диск. Хэрэв нунтаглах диск нь цутгамал төмөр эсвэл нүүрстөрөгчийн гангаар хийгдсэн бол ашиглалтын хугацаа богино, дулааны тэлэлтийн коэффициент нь өндөр байдаг. Цахиурын вафли боловсруулах явцад, ялангуяа өндөр хурдтай нунтаглах эсвэл өнгөлөх үед нунтаглах дискний элэгдэл, дулааны деформаци нь цахиурын вафлины тэгш байдал, параллел байдлыг хангахад хэцүү болгодог. Цахиурын карбидын керамикаар хийсэн нунтаглах диск нь өндөр хатуулагтай, бага элэгдэлтэй бөгөөд дулааны тэлэлтийн коэффициент нь цахиурын вафлитай үндсэндээ ижил тул өндөр хурдаар нунтаглаж, өнгөлж болно.
● Цахиурын карбидын керамик бэхэлгээ. Үүнээс гадна, цахиурын вафли үйлдвэрлэхдээ өндөр температурт дулааны боловсруулалт хийх шаардлагатай бөгөөд ихэвчлэн цахиурын карбидын бэхэлгээ ашиглан тээвэрлэдэг. Эдгээр нь халуунд тэсвэртэй бөгөөд эвдэрдэггүй. Гүйцэтгэлийг сайжруулах, вафлийн эвдрэлийг арилгах, бохирдол тархахаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд гадаргуу дээр алмааз төст нүүрстөрөгч (DLC) болон бусад бүрхүүл түрхэж болно.
● Цахиурын карбидын ажлын ширээ. Литографийн машины ажлын ширээг жишээ болгон авч үзвэл, ажлын ширээ нь голчлон өртөлтийн хөдөлгөөнийг гүйцэтгэх үүрэгтэй бөгөөд өндөр хурдтай, том цохилттой, зургаан градусын чөлөөтэй нано түвшний хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөн шаарддаг. Жишээлбэл, 100 нм нягтралтай, 33 нм давхаргын нарийвчлалтай, 10 нм шугамын өргөнтэй литографийн машины хувьд ажлын ширээний байрлалын нарийвчлал 10 нм хүрэх шаардлагатай бөгөөд маск-цахиурын нимгэн хавтанг нэгэн зэрэг алхам хийх, сканнердах хурд нь тус тус 150 нм/с ба 120 нм/с, маск сканнердах хурд нь 500 нм/с-тэй ойролцоо бөгөөд ажлын ширээ нь маш өндөр хөдөлгөөний нарийвчлал, тогтвортой байдалтай байх шаардлагатай.
Ажлын ширээ болон микро хөдөлгөөнт ширээний бүдүүвч диаграмм (хэсэгчилсэн хэсэг)
● Цахиурын карбидын керамик дөрвөлжин толь. Литографийн машин гэх мэт гол интеграл хэлхээний тоног төхөөрөмжийн гол бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь нарийн төвөгтэй хэлбэр, нарийн төвөгтэй хэмжээс, хөндий хөнгөн бүтэцтэй тул ийм цахиурын карбидын керамик эд ангиудыг бэлтгэхэд хэцүү болгодог. Одоогийн байдлаар Нидерландын ASML, Японы NIKON, CANON зэрэг олон улсын интеграл хэлхээний тоног төхөөрөмжийн томоохон үйлдвэрлэгчид литографийн машины гол бүрэлдэхүүн хэсэг болох дөрвөлжин толь бэлтгэхэд бичил талст шил, кордиерит зэрэг их хэмжээний материалыг ашиглаж, энгийн хэлбэртэй бусад өндөр хүчин чадалтай бүтцийн эд ангиудыг бэлтгэхэд цахиурын карбидын керамик ашиглаж байна. Гэсэн хэдий ч Хятадын Барилгын Материалын Судалгааны Хүрээлэнгийн мэргэжилтнүүд том хэмжээтэй, нарийн төвөгтэй хэлбэртэй, маш хөнгөн, бүрэн хаалттай цахиурын карбидын керамик дөрвөлжин толь болон бусад бүтцийн болон үйл ажиллагааны оптик эд ангиудыг бэлтгэхийн тулд өмчийн бэлтгэлийн технологийг ашигласан.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 10-р сарын 10