Materia praeferenda pro partibus accuratis machinarum photolithographicarum
In agro semiconductorum,ceramica carburi siliciiMateriae imprimis in apparatu clavis ad circuitus integratos fabricandos adhibentur, ut puta in mensa operatoria carburi silicii, in ferreis rectoribus,reflectores, mandrum suctionis ceramicum, brachia, discos abrasivos, instrumenta, etc. pro machinis lithographicis.
Partes ceramicae carburi siliciipro apparatu semiconductorio et optico
● Discus abrasivus ceramicus carburi silicii. Si discus abrasivus ex ferro fuso vel chalybe carbonico factus est, eius vita utilis brevis est et coefficiens expansionis thermalis magnus. Dum lamellas silicii tractantur, praesertim dum celeriter abraditur vel politur, detritio et deformatio thermalis disci abrasivi planitatem et parallelismum lamellae silicii difficilem reddunt. Discus abrasivus e ceramica carburi silicii factus duritiem magnam et detritionem humilem habet, et coefficiens expansionis thermalis fere idem est ac lamellarum silicii, ita celeriter abradi et poliri potest.
● Apparatus ceramicus e carburo silicii. Praeterea, cum laminae silicii producuntur, curationem caloris altae temperaturae subire debent et saepe apparatibus e carburo silicii transportantur. Sunt calori resistentes et non destructivae. Carbonium adamantum (DLC) et alia tegumenta in superficiem applicari possunt ad efficientiam augendam, damnum laminae minuendum, et contaminationem ne diffundiatur prohibendum.
● Mensa operatoria e carburo silicii. Exemplo mensae operatoriae in machina lithographicae sumptae, mensa operatoria praecipue motum expositionis perficiendum curat, celeritatem magnam, ictum amplum, et sex gradus libertatis nanometrici motus ultra-praecisionis requirit. Exempli gratia, pro machina lithographica cum resolutione 100nm, praecisione superpositionis 33nm, et latitudine lineae 10nm, praecisionem positionis mensae operatoriae ad 10nm pervenire requiritur, celeritates simultaneae graduum et scrutationis inter larvam et laminam silicii 150nm/s et 120nm/s respective sunt, et celeritas scrutationis larvae prope 500nm/s est, et mensa operatoria praecisionem motus et stabilitatem altissimam habere debet.
Schema mensae operatoriae et mensae micromotuum (sectio partialis)
● Speculum quadratum ceramicum e carburo silicii. Partes principales in apparatu circuituum integratorum, ut machinis lithographicis, formas complexas, dimensiones complexas, et structuras leves cavatas habent, ita ut praeparatio talium partium ceramicarum e carburo silicii difficilis sit. Hodie, principales fabri internationales apparatuum circuituum integratorum, ut ASML in Nederlandia, NIKON et CANON in Iaponia, magnam copiam materiarum, ut vitrum microcrystallinum et cordieritum, ad specula quadrata, partes principales machinarum lithographicarum, praeparanda utuntur, et ceramicas e carburo silicii ad alias partes structurales altae efficaciae cum formis simplicibus praeparandas adhibent. Tamen, periti ex Instituto Investigationis Materiarum Aedificandarum Sinensi technologia praeparationis propria usi sunt ad praeparationem speculorum quadratorum ceramicorum e carburo silicii magnae magnitudinis, formae complexae, levissimae, plene inclusorum, aliorumque partium opticarum structuralium et functionalium pro machinis lithographicis perficiendam.
Tempus publicationis: Oct-X-MMXXIV