يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ساھەسىدە كرېمنىي كاربىد كېرامىكىسىنىڭ قوللىنىلىشى

فوتولىتوگرافىيە ماشىنىلىرىنىڭ ئېنىقلىق زاپچاسلىرى ئۈچۈن ئەڭ ياخشى ماتېرىيال

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ساھەسىدە،كرېمنىي كاربىد كېرامىكىسىماتېرىياللار ئاساسلىقى كرېمنىي كاربىد ئىش ئۈستىلى، يېتەكلىگۈچ رېلىس قاتارلىق ئىنتېگرال توك يولى ئىشلەپچىقىرىشتىكى مۇھىم ئۈسكۈنىلەردە ئىشلىتىلىدۇ.رېفلىكىتورلار, كېرامىكا سۈمۈرگۈچ چاق، لىتوگرافىيە ماشىنىلىرى ئۈچۈن قوللار، سىلىقلاش دىسكىلىرى، ئۈسكۈنىلەر قاتارلىقلار.

كرېمنىي كاربىد كېرامىكا زاپچاسلىرىيېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئوپتىكىلىق ئۈسكۈنىلەر ئۈچۈن

● كرېمنىي كاربىد كېرامىكا ئۇۋىلاش دىسكىسى. ئەگەر ئۇۋىلاش دىسكىسى چويۇن ياكى كاربون پولاتتىن ياسالغان بولسا، ئۇنىڭ ئىشلىتىش ئۆمرى قىسقا، ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى يۇقىرى بولىدۇ. كرېمنىي ۋافرىلىرىنى پىششىقلاپ ئىشلەش جەريانىدا، بولۇپمۇ يۇقىرى سۈرئەتلىك ئۇۋىلاش ياكى سىلىقلاش جەريانىدا، ئۇۋىلاش دىسكىسىنىڭ ئۇپراش ۋە ئىسسىقلىق ئۆزگىرىشى كرېمنىي ۋافرىنىڭ تۈزلۈك ۋە پاراللېللىقىغا كاپالەتلىك قىلىشنى قىيىنلاشتۇرىدۇ. كرېمنىي كاربىد كېرامىكىسىدىن ياسالغان ئۇۋىلاش دىسكىسىنىڭ قاتتىقلىقى يۇقىرى، ئۇپراش نىسبىتى تۆۋەن، ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى ئاساسەن كرېمنىي ۋافرىلىرى بىلەن ئوخشاش، شۇڭا ئۇنى يۇقىرى سۈرئەتتە ئۇۋىلاپ سىلىقلىغىلى بولىدۇ.
● كرېمنىي كاربىدلىق كېرامىكا قۇرۇلمىسى. بۇنىڭدىن باشقا، كرېمنىيلىق ۋافلىلارنى ئىشلەپچىقىرىشتا، ئۇلار يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئىسسىقلىق بىر تەرەپ قىلىشقا موھتاج بولۇپ، كۆپىنچە كرېمنىي كاربىد قۇرۇلمىسى ئارقىلىق توشۇلىدۇ. ئۇلار ئىسسىققا چىداملىق ۋە بۇزغۇنچىلىق قىلمايدۇ. ئالماسقا ئوخشاش كاربون (DLC) ۋە باشقا قاپلاملارنى يۈزىگە سۈرتۈپ، ئىقتىدارنى ئاشۇرۇش، ۋافلىلارنىڭ بۇزۇلۇشىنى يېنىكلىتىش ۋە بۇلغىنىشنىڭ تارقىلىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىشقا بولىدۇ.
● كرېمنىي كاربىد ئىش ئۈستىلى. لىتوگرافىيە ماشىنىسىدىكى ئىش ئۈستىلىنى مىسالغا ئالساق، ئىش ئۈستىلى ئاساسلىقى ئاشكارلىنىش ھەرىكىتىنى تاماملاشقا مەسئۇل بولۇپ، يۇقىرى سۈرئەتلىك، چوڭ ھەرىكەتلىك، ئالتە گرادۇسلۇق ئەركىنلىك نانوم دەرىجىلىك ئۇلترا ئېنىقلىقتىكى ھەرىكەتنى تەلەپ قىلىدۇ. مەسىلەن، 100nm ئېنىقلىقتىكى، 33nm قاپلاش توغرىلىقىدىكى ۋە 10nm سىزىق كەڭلىكىدىكى لىتوگرافىيە ماشىنىسى ئۈچۈن، ئىش ئۈستىلىنىڭ ئورنىنى بېكىتىش توغرىلىقى 10nm غا يېتىشى، ماسكا-كرېمنىي تاختىسىنىڭ بىرلا ۋاقىتتا قەدەم بېسىش ۋە سىكانىرلاش سۈرئىتى ئايرىم-ئايرىم ھالدا 150nm/s ۋە 120nm/s بولۇشى، ماسكا سىكانىرلاش سۈرئىتى 500nm/s غا يېقىن بولۇشى، ئىش ئۈستىلىنىڭ ھەرىكەت توغرىلىقى ۋە مۇقىملىقىنىڭ ئىنتايىن يۇقىرى بولۇشى تەلەپ قىلىنىدۇ.

ئىش ئۈستىلى ۋە مىكرو ھەرىكەت ئۈستىلىنىڭ سىخېما دىئاگراممىسى (قىسمەن بۆلەك)

● كرېمنىي كاربىد كېرامىكا چاسا ئەينەك. لىتوگرافىيە ماشىنىلىرى قاتارلىق مۇھىم بىرلەشتۈرۈلگەن توك يولى ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئاساسلىق زاپچاسلىرى مۇرەككەپ شەكىل، مۇرەككەپ ئۆلچەم ۋە بوش يېنىك قۇرۇلمىلارغا ئىگە بولۇپ، بۇ خىل كرېمنىي كاربىد كېرامىكا زاپچاسلىرىنى تەييارلاشنى قىيىنلاشتۇرىدۇ. ھازىر، گوللاندىيەدىكى ASML، ياپونىيەدىكى NIKON ۋە CANON قاتارلىق خەلقئارا ئاساسلىق بىرلەشتۈرۈلگەن توك يولى ئۈسكۈنىلىرى ئىشلەپچىقارغۇچىلىرى لىتوگرافىيە ماشىنىلىرىنىڭ يادرولۇق زاپچاسلىرى بولغان چاسا ئەينەكلەرنى تەييارلاش ئۈچۈن مىكروكرىستاللىق ئەينەك ۋە كوردىئېرىت قاتارلىق كۆپ مىقداردىكى ماتېرىياللارنى ئىشلىتىدۇ، ھەمدە كرېمنىي كاربىد كېرامىكىسىنى ئىشلىتىپ، ئاددىي شەكىللىك باشقا يۇقىرى ئىقتىدارلىق قۇرۇلما زاپچاسلىرىنى تەييارلايدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، جۇڭگو قۇرۇلۇش ماتېرىياللىرى تەتقىقات ئىنستىتۇتىنىڭ مۇتەخەسسىسلىرى لىتوگرافىيە ماشىنىلىرى ئۈچۈن چوڭ، مۇرەككەپ شەكىللىك، ئىنتايىن يېنىك، تولۇق يېپىق كرېمنىي كاربىد كېرامىكا چاسا ئەينەك ۋە باشقا قۇرۇلما ۋە ئىقتىدارلىق ئوپتىكىلىق زاپچاسلارنى تەييارلاش ئۈچۈن مەخسۇس تەييارلاش تېخنىكىسىنى قوللاندى.