يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ساھەسىدە كرېمنىي كاربون ساپال بۇيۇملىرىنى ئىشلىتىش

فوتوگرافلىق ماشىنىلارنىڭ ئېنىق زاپچاسلىرى ئۈچۈن ياقتۇرىدىغان ماتېرىيال

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ساھەسىدە ،كرېمنىي كاربون ساپال بۇيۇملىرىماتېرىياللار ئاساسلىقى كرېمنىيلىق كاربون خىزمەت جەدۋىلى ، يېتەكچى رېلىس قاتارلىق توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ياساشتىكى مۇھىم ئۈسكۈنىلەردە ئىشلىتىلىدۇ.نۇر قايتۇرغۇچ, ساپال سۈمۈرگۈچ، قول ، گىرىم قىلىش دېسكىسى ، زاپچاس قاتارلىقلار.

كرېمنىي كاربون ساپال زاپچاسلىرىيېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئوپتىكىلىق ئۈسكۈنىلەر ئۈچۈن

● كرېمنىي كاربون ساپال ئۇۋىلاش دېسكىسى. ئەگەر ئۇۋىلاش دىسكىسى قۇيۇلغان تۆمۈر ياكى كاربون پولاتتىن ياسالغان بولسا ، ئۇنىڭ ئىشلىتىش ئۆمرى قىسقا ، ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى چوڭ بولىدۇ. كرېمنىيلىق ۋافېرنى پىششىقلاپ ئىشلەش جەريانىدا ، بولۇپمۇ يۇقىرى سۈرئەتلىك ئۇۋىلاش ياكى سىلىقلاش جەريانىدا ، ئۇۋاق دېسكىنىڭ ئۇپرىشى ۋە ئىسسىقلىق ئۆزگىرىشى كرېمنىيلىق ۋافېرنىڭ تەكشىلىكى ۋە پاراللېللىقىغا كاپالەتلىك قىلىشنى قىيىنلاشتۇرىدۇ. كرېمنىي كاربون ساپال ساپالدىن ياسالغان ئۇۋىلاش دېسكىنىڭ قاتتىقلىقى ۋە تۆۋەن ئۇپرىشى بار ، ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى كرېمنىيلىق ۋافېر بىلەن ئاساسەن ئوخشاش ، شۇڭا ئۇ يەرنى تېز سۈرتەلەيدۇ.
● كىرىمنىي كاربون كاربون ساپال قۇرۇلمىسى. ئۇنىڭدىن باشقا ، كرېمنىيلىق ۋافېر ئىشلەپچىقىرىلغاندا ، ئۇلار يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق ئىسسىقلىقنى بىر تەرەپ قىلىشى كېرەك ، دائىم كرېمنىي كاربون قۇرۇلمىسىدىن پايدىلىنىپ توشۇلىدۇ. ئۇلار ئىسسىققا چىداملىق ۋە بۇزغۇنچىلىققا ئۇچرىمايدۇ. ئالماسقا ئوخشاش كاربون (DLC) ۋە باشقا سىرلارنى يۈزىگە سۈرۈپ ، ئىقتىدارنى يۇقىرى كۆتۈرگىلى ، ۋافېرنىڭ زىيىنىنى پەسەيتىپ ، بۇلغىنىشنىڭ تارقىلىشىنىڭ ئالدىنى ئالغىلى بولىدۇ.
● كرېمنىي كاربون ئىشلەشچان. تاش مەتبەئە ماشىنىسىدىكى خىزمەت جەدۋىلىنى مىسالغا ئالساق ، خىزمەت جەدۋىلى ئاساسلىقى ئاشكارلىنىش ھەرىكىتىنى تاماملاشقا مەسئۇل بولۇپ ، يۇقىرى سۈرئەتلىك ، چوڭ سەكتە ، ئالتە گرادۇسلۇق ئەركىنلىك نانو دەرىجىلىك دەرىجىدىن تاشقىرى ئېنىقلىق ھەرىكىتىنى تەلەپ قىلىدۇ. مەسىلەن ، ئېنىقلىق دەرىجىسى 100nm ، سىرتقى يۈزىنىڭ ئېنىقلىقى 33nm ، سىزىقنىڭ كەڭلىكى 10nm بولغان تاش مەتبەئە ماشىنىسىغا نىسبەتەن ، خىزمەت ئورنىنىڭ توغرىلىق دەرىجىسى 10nm غا يېتىشى تەلەپ قىلىنىدۇ ، ماسكا-كرېمنىيلىق ۋافېرنىڭ بىرلا ۋاقىتتا قەدەم بېسىش ۋە سىكانىرلاش سۈرئىتى ئايرىم-ئايرىم ھالدا 150nm / s ۋە 120nm / s بولۇپ ، ماسكا سىكاننېرلاش سۈرئىتى 500nm / s غا يېتىدۇ.

خىزمەت جەدۋىلى ۋە مىكرو ھەرىكەت جەدۋىلىنىڭ سىخېما دىئاگراممىسى (قىسمەن بۆلەك)

● كرېمنىي كاربون ساپال كۋادرات ئەينىكى. تاش مەتبەئە ماشىنىسى قاتارلىق ئاچقۇچلۇق توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ئۈسكۈنىلىرىدىكى مۇھىم زاپچاسلارنىڭ شەكلى مۇرەككەپ ، مۇرەككەپلىكى ۋە كاۋاك يېنىك قۇرۇلمىسى بار ، بۇنداق كرېمنىي كاربون ساپال زاپچاسلىرىنى تەييارلاش تەسكە توختايدۇ. ھازىر گوللاندىيەدىكى ASML ، ياپونىيەدىكى NIKON ۋە CANON قاتارلىق خەلقئارالىق ئاساسلىق توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ئۈسكۈنىلىرى ئىشلەپچىقارغۇچىلار مىكرو كرىستال ئەينەك ۋە كارىدورىت قاتارلىق نۇرغۇن ماتېرىياللارنى ئىشلىتىپ كۋادرات ئەينىكى ، تاش مەتبەئە ماشىنىسىنىڭ يادرولۇق زاپچاسلىرىنى تەييارلىدى ھەمدە كرېمنىي كاربون ساپال بۇيۇملىرىنى ئىشلىتىپ ، ئاددىي شەكىلدىكى باشقا يۇقىرى ئىقتىدارلىق قۇرۇلما زاپچاسلىرىنى تەييارلىدى. قانداقلا بولمىسۇن ، جۇڭگو قۇرۇلۇش ماتېرىياللىرى تەتقىقات ئورنىنىڭ مۇتەخەسسىسلىرى ئىگىدارلىق تەييارلاش تېخنىكىسىنى ئىشلىتىپ ، چوڭ-كىچىك ، مۇرەككەپ شەكىللىك ، يېنىك دەرىجىدىكى ، تولۇق يېپىق بولغان كرېمنىي كاربون ساپال كۋادرات ئەينىكى ۋە تاش مەتبەئە ماشىنىلىرىنىڭ قۇرۇلما ۋە ئىقتىدارلىق ئوپتىكىلىق زاپچاسلىرىنى تەييارلاشنى قولغا كەلتۈردى.