Materiali i preferuar për pjesët precize të makinave fotolitografike
Në fushën e gjysmëpërçuesve,qeramikë karbidi silikoniMaterialet përdoren kryesisht në pajisjet kryesore për prodhimin e qarqeve të integruara, siç janë tavolina e punës prej karbidi silikoni, shinat udhëzuese,reflektorë, mandrina thithëse qeramike, krahë, disqe bluarjeje, pajisje fiksuese etj. për makinat e litografisë.
Pjesë qeramike prej karbidi silikonipër pajisje gjysmëpërçuese dhe optike
● Disk bluarës qeramik prej karabit silici. Nëse disku bluarës është bërë prej gize ose çeliku karboni, jeta e tij e shërbimit është e shkurtër dhe koeficienti i tij i zgjerimit termik është i madh. Gjatë përpunimit të pllakave të silikonit, veçanërisht gjatë bluarjes ose lustrimit me shpejtësi të lartë, konsumimi dhe deformimi termik i diskut bluarës e bëjnë të vështirë sigurimin e sheshtësisë dhe paralelizmit të pllakave të silikonit. Disku bluarës i bërë nga qeramika e karabit silici ka fortësi të lartë dhe konsumim të ulët, dhe koeficienti i zgjerimit termik është në thelb i njëjtë me atë të pllakave të silikonit, kështu që mund të bluhet dhe lustrohet me shpejtësi të lartë.
● Pajisje fiksuese qeramike prej karabit silici. Përveç kësaj, kur prodhohen pllaka silici, ato duhet t'i nënshtrohen trajtimit termik në temperaturë të lartë dhe shpesh transportohen duke përdorur pajisje fiksuese prej karabit silici. Ato janë rezistente ndaj nxehtësisë dhe jo-shkatërruese. Karboni i ngjashëm me diamantin (DLC) dhe veshje të tjera mund të aplikohen në sipërfaqe për të përmirësuar performancën, për të lehtësuar dëmtimin e pllakave dhe për të parandaluar përhapjen e kontaminimit.
● Tavolinë pune prej karabit silikoni. Duke marrë si shembull tavolinën e punës në makinën e litografisë, tavolina e punës është kryesisht përgjegjëse për përfundimin e lëvizjes së ekspozimit, duke kërkuar lëvizje ultra-precize me shpejtësi të lartë, me goditje të madhe, me gjashtë shkallë lirie në nivelin nano. Për shembull, për një makinë litografie me një rezolucion prej 100 nm, një saktësi mbivendosjeje prej 33 nm dhe një gjerësi vije prej 10 nm, saktësia e pozicionimit të tavolinës së punës kërkohet të arrijë 10 nm, shpejtësitë e hapjes dhe skanimit të njëkohshëm të maskës-vaferit të silikonit janë përkatësisht 150 nm/s dhe 120 nm/s, dhe shpejtësia e skanimit të maskës është afër 500 nm/s, dhe tavolina e punës kërkohet të ketë saktësi dhe stabilitet shumë të lartë lëvizjeje.
Diagrami skematik i tavolinës së punës dhe tavolinës së mikro-lëvizjes (prerje e pjesshme)
● Pasqyrë katrore qeramike prej karabit silici. Komponentët kryesorë në pajisjet kryesore të qarqeve të integruara, siç janë makinat e litografisë, kanë forma komplekse, dimensione komplekse dhe struktura të lehta të zbrazëta, duke e bërë të vështirë përgatitjen e komponentëve të tillë qeramikë prej karabit silici. Aktualisht, prodhuesit kryesorë ndërkombëtarë të pajisjeve të qarqeve të integruara, siç janë ASML në Holandë, NIKON dhe CANON në Japoni, përdorin një sasi të madhe materialesh si qelqi mikrokristalin dhe kordieriti për të përgatitur pasqyra katrore, komponentët kryesorë të makinave të litografisë, dhe përdorin qeramikë prej karabit silici për të përgatitur komponentë të tjerë strukturorë me performancë të lartë me forma të thjeshta. Megjithatë, ekspertët nga Instituti i Kërkimit të Materialeve Ndërtimore të Kinës kanë përdorur teknologji të patentuar përgatitjeje për të arritur përgatitjen e pasqyrave katrore prej karabit silici me madhësi të madhe, me formë komplekse, shumë të lehtë, plotësisht të mbyllura dhe komponentëve të tjerë optikë strukturorë dhe funksionalë për makinat e litografisë.
Koha e postimit: 10 tetor 2024