Bahan sing disenengi kanggo bagean presisi mesin fotolitografi
Ing bidang semikonduktor,keramik silikon karbidaBahan-bahan utamane digunakake ing peralatan utama kanggo manufaktur sirkuit terpadu, kayata meja kerja silikon karbida, rel panduan,reflektor, chuck hisap keramik, lengen, cakram gerinda, perlengkapan, lan liya-liyane kanggo mesin litografi.
Bagian keramik silikon karbidakanggo peralatan semikonduktor lan optik
● Cakram giling keramik silikon karbida. Yen cakram giling digawe saka wesi cor utawa baja karbon, umur layanane cendhak lan koefisien ekspansi termal gedhe. Sajrone pangolahan wafer silikon, utamane nalika giling utawa polesan kanthi kecepatan tinggi, keausan lan deformasi termal cakram giling nggawe angel kanggo njamin kerataan lan paralelisme wafer silikon. Cakram giling sing digawe saka keramik silikon karbida nduweni kekerasan sing dhuwur lan keausan sing sithik, lan koefisien ekspansi termal umume padha karo wafer silikon, saengga bisa digiling lan dipoles kanthi kecepatan tinggi.
● Perlengkapan keramik silikon karbida. Kajaba iku, nalika wafer silikon diprodhuksi, kudu ngalami perawatan panas suhu dhuwur lan asring diangkut nggunakake perlengkapan silikon karbida. Perlengkapan iki tahan panas lan ora ngrusak. Karbon kaya berlian (DLC) lan lapisan liyane bisa ditrapake ing permukaan kanggo nambah kinerja, nyuda kerusakan wafer, lan nyegah kontaminasi nyebar.
● Meja kerja silikon karbida. Njupuk meja kerja ing mesin litografi minangka conto, meja kerja utamane tanggung jawab kanggo ngrampungake gerakan eksposur, sing mbutuhake gerakan ultra-presisi nano tingkat enem derajat kebebasan kanthi kecepatan dhuwur, stroke gedhe. Contone, kanggo mesin litografi kanthi resolusi 100 nm, akurasi overlay 33 nm, lan jembar garis 10 nm, akurasi posisi meja kerja dibutuhake kanggo tekan 10 nm, kecepatan langkah lan pemindaian simultan wafer topeng-silikon yaiku 150 nm/s lan 120 nm/s, lan kecepatan pemindaian topeng cedhak karo 500 nm/s, lan meja kerja dibutuhake duwe akurasi lan stabilitas gerakan sing dhuwur banget.
Diagram skematis meja kerja lan meja mikro-gerakan (bagean sebagian)
● Pangilon kothak keramik silikon karbida. Komponen kunci ing peralatan sirkuit terpadu utama kayata mesin litografi duwe bentuk sing kompleks, dimensi sing kompleks, lan struktur entheng sing kopong, saengga angel nyiyapake komponen keramik silikon karbida kasebut. Saiki, produsen peralatan sirkuit terpadu internasional utama, kayata ASML ing Walanda, NIKON lan CANON ing Jepang, nggunakake akeh bahan kayata kaca mikrokristalin lan kordierit kanggo nyiyapake pangilon kothak, komponen inti mesin litografi, lan nggunakake keramik silikon karbida kanggo nyiyapake komponen struktural kinerja dhuwur liyane kanthi bentuk sing prasaja. Nanging, para ahli saka Institut Riset Bahan Bangunan China wis nggunakake teknologi persiapan sing dipatenake kanggo entuk persiapan pangilon kothak keramik silikon karbida ukuran gedhe, bentuk kompleks, entheng banget, ditutup kanthi lengkap lan komponen optik struktural lan fungsional liyane kanggo mesin litografi.
Wektu kiriman: 10-Okt-2024