በሴሚኮንዳክተር መስክ ውስጥ የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክስ አተገባበር

ለፎቶሊቶግራፊ ማሽኖች ትክክለኛ ክፍሎች የሚመረጠው ቁሳቁስ

በሴሚኮንዳክተር መስክ፣ሲሊከን ካርቦይድ ሴራሚክቁሳቁሶች በዋናነት እንደ ሲሊኮን ካርቦይድ የስራ ጠረጴዛ፣ የመመሪያ ሀዲዶች፣አንጸባራቂዎች, የሴራሚክ መምጠጥ ቋጠሮለሊቶግራፊ ማሽኖች ክንዶች፣ የመፍጨት ዲስኮች፣ እቃዎች፣ ወዘተ.

የሲሊኮን ካርቦይድ የሴራሚክ ክፍሎችለሴሚኮንዳክተር እና ለኦፕቲካል መሳሪያዎች

● የሲሊኮን ካርቦይድ የሴራሚክ መፍጫ ዲስክ። የመፍጨት ዲስክ ከተጣለ ብረት ወይም ከካርቦን ብረት የተሰራ ከሆነ የአገልግሎት ዘመኑ አጭር ነው እና የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅቱ ትልቅ ነው። የሲሊኮን ዋፈር በሚሰራበት ጊዜ፣ በተለይም በከፍተኛ ፍጥነት መፍጨት ወይም ማጥራት ወቅት፣ የመፍጨት ዲስክ መበላሸት እና የሙቀት መበላሸት የሲሊኮን ዋፈር ጠፍጣፋ እና ትይዩነት ለማረጋገጥ አስቸጋሪ ያደርገዋል። ከሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክስ የተሰራው የመፍጨት ዲስክ ከፍተኛ ጥንካሬ እና ዝቅተኛ የመልበስ ችሎታ አለው፣ እና የሙቀት ማስፋፊያ ቅንጅት በመሠረቱ ከሲሊኮን ዋፈር ጋር ተመሳሳይ ነው፣ ስለዚህ በከፍተኛ ፍጥነት ሊፈጭ እና ሊወጠር ይችላል።
● የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ፋውቸር። በተጨማሪም፣ የሲሊኮን ዋፈር ሲመረቱ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው የሙቀት ሕክምና ማድረግ አለባቸው እና ብዙውን ጊዜ በሲሊኮን ካርቦይድ ፋውተሮች ይጓጓዛሉ። ሙቀትን የሚቋቋሙ እና ጎጂ ያልሆኑ ናቸው። አፈጻጸምን ለማሻሻል፣ የዋፈር ጉዳትን ለማስታገስ እና ብክለት እንዳይሰራጭ ለመከላከል የአልማዝ መሰል ካርቦን (DLC) እና ሌሎች ሽፋኖች በላዩ ላይ ሊተገበሩ ይችላሉ።
● የሲሊኮን ካርቦይድ የስራ ጠረጴዛ። በሊቶግራፊ ማሽን ውስጥ ያለውን የስራ ጠረጴዛ እንደ ምሳሌ በመውሰድ የስራ ጠረጴዛው በዋናነት የተጋላጭነት እንቅስቃሴን ለማጠናቀቅ ኃላፊነት አለበት፣ ይህም ከፍተኛ ፍጥነት፣ ትልቅ-ስትሮክ፣ ስድስት-ዲግሪ-የነፃነት ናኖ-ደረጃ እጅግ-ትክክለኛ እንቅስቃሴን ይፈልጋል። ለምሳሌ፣ 100nm ጥራት፣ 33nm ተደራቢ ትክክለኛነት እና 10nm የመስመር ስፋት ላለው የሊቶግራፊ ማሽን፣ 10nm ለመድረስ የስራ ጠረጴዛ አቀማመጥ ትክክለኛነት ያስፈልጋል፣ የማስክ-ሲሊኮን ዋፈር በተመሳሳይ ጊዜ የመራመድ እና የቃኝ ፍጥነት በቅደም ተከተል 150nm/s እና 120nm/s ነው፣ እና የጭምብል ቅኝት ፍጥነት ወደ 500nm/s ቅርብ ነው፣ እና የስራ ጠረጴዛው በጣም ከፍተኛ የእንቅስቃሴ ትክክለኛነት እና መረጋጋት እንዲኖረው ያስፈልጋል።

የሥራ ጠረጴዛው እና የማይክሮ-እንቅስቃሴ ሠንጠረዥ ንድፍ (ከፊል ክፍል)

● የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ካሬ መስታወት። እንደ ሊቶግራፊ ማሽኖች ባሉ ቁልፍ የተቀናጁ የወረዳ መሳሪያዎች ውስጥ ቁልፍ ክፍሎች ውስብስብ ቅርጾች፣ ውስብስብ ልኬቶች እና ባዶ ቀላል ክብደት ያላቸው መዋቅሮች አሏቸው፣ ይህም እንደዚህ አይነት የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ክፍሎችን ማዘጋጀት አስቸጋሪ ያደርገዋል። በአሁኑ ጊዜ፣ በኔዘርላንድስ እንደ ASML፣ በጃፓን NIKON እና CANON ያሉ ዋና ዋና ዓለም አቀፍ የተቀናጁ የወረዳ መሳሪያዎች አምራቾች እንደ ማይክሮክሪስታሊን መስታወት እና ኮርዲራይት ያሉ ብዙ ቁሳቁሶችን በመጠቀም የካሬ መስተዋቶችን፣ የሊቶግራፊ ማሽኖች ዋና ክፍሎች ለማዘጋጀት እና ሌሎች ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸውን መዋቅራዊ ክፍሎችን በቀላል ቅርጾች ለማዘጋጀት የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክስ ይጠቀማሉ። ሆኖም፣ ከቻይና የግንባታ ቁሳቁሶች ምርምር ተቋም የመጡ ባለሙያዎች ትልቅ መጠን ያላቸው፣ ውስብስብ ቅርጽ ያላቸው፣ በጣም ቀላል ክብደት ያላቸው፣ ሙሉ በሙሉ የተዘጉ የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ ካሬ መስተዋቶች እና ለሊቶግራፊ ማሽኖች ሌሎች መዋቅራዊ እና ተግባራዊ የኦፕቲካል ክፍሎችን ለማዘጋጀት የባለቤትነት ዝግጅት ቴክኖሎጂን ተጠቅመዋል።