Маводи афзалиятнок барои қисмҳои дақиқи мошинҳои фотолитография
Дар соҳаи нимноқилҳо,карбиди кремниймаводҳо асосан дар таҷҳизоти калидӣ барои истеҳсоли схемаҳои интегралӣ, ба монанди мизи кории кремний карбидӣ, релсҳои роҳнамо, истифода мешаванд.инъикоскунандаҳо, патрони макиданӣ, дастаҳо, дискҳои суфтакунӣ, асбобҳо ва ғайра барои мошинҳои литография.
Қисмҳои керамикии карбидии силиконбарои таҷҳизоти нимноқилӣ ва оптикӣ
● Диски майдакунии сафолии карбидии силикон. Агар диски майдакунӣ аз оҳани рехтагарӣ ё пӯлоди карбонӣ сохта шуда бошад, мӯҳлати хизмати он кӯтоҳ ва коэффитсиенти васеъшавии гармии он калон аст. Ҳангоми коркарди вафлҳои силикон, махсусан ҳангоми майдакунӣ ё сайқалдиҳии суръати баланд, фарсудашавӣ ва деформатсияи гармии диски майдакунӣ таъмин намудани ҳамворӣ ва параллелии вафли силиконро душвор мегардонад. Диски майдакунӣ аз сафолҳои карбидии силикон сахтии баланд ва фарсудашавии паст дорад ва коэффитсиенти васеъшавии гармӣ асосан бо вафлҳои силикон якхела аст, аз ин рӯ онро бо суръати баланд сайқал додан ва сайқал додан мумкин аст.
● Қисмати сафолии карбиди силикон. Илова бар ин, ҳангоми истеҳсоли пластинаҳои силикон, онҳо бояд бо гармии ҳарорати баланд коркард карда шаванд ва аксар вақт бо истифода аз пластинаҳои карбиди силикон интиқол дода мешаванд. Онҳо ба гармӣ тобовар ва вайроннашавандаанд. Карбони монанд ба алмос (DLC) ва дигар рӯйпӯшҳоро метавон ба рӯи он истифода бурд, то самаранокиро беҳтар созад, осеби пластинаро кам кунад ва аз паҳншавии ифлосшавӣ пешгирӣ кунад.
● Мизи кории карбиди силикон. Мисоли мизи кории дастгоҳи литографияро дида, мизи корӣ асосан барои анҷом додани ҳаракати экспозитсионӣ масъул аст, ки ҳаракати ултра-дақиқии нано-сатҳи баландсуръат, зарбаи калон ва шаш дараҷаи озодиро талаб мекунад. Масалан, барои дастгоҳи литография бо қарори 100 нм, дақиқии рӯйпӯшкунӣ 33 нм ва паҳнои хат 10 нм, дақиқии ҷойгиркунии мизи корӣ барои расидан ба 10 нм, суръати қадамгузории ҳамзамони ниқоб-силикон ва сканкунӣ мутаносибан 150 нм/с ва 120 нм/с ва суръати сканкунии ниқоб ба 500 нм/с наздик аст ва мизи корӣ бояд дақиқии ҳаракат ва устувории хеле баланд дошта бошад.
Диаграммаи схемавии мизи корӣ ва мизи микроҳаракатӣ (қисман қисман)
● Оинаи чоркунҷаи керамикии карбиди силикон. Ҷузъҳои калидӣ дар таҷҳизоти калидии схемаҳои интегралӣ, ба монанди мошинҳои литография, шаклҳои мураккаб, андозаҳои мураккаб ва сохторҳои сабуки холӣ доранд, ки омода кардани чунин ҷузъҳои керамикии карбиди силиконро душвор мегардонад. Дар айни замон, истеҳсолкунандагони асосии таҷҳизоти схемаҳои интегралии байналмилалӣ, ба монанди ASML дар Нидерландия, NIKON ва CANON дар Ҷопон, миқдори зиёди маводҳоро ба монанди шишаи микрокристаллӣ ва кордиерит барои тайёр кардани оинаҳои чоркунҷа, ҷузъҳои асосии мошинҳои литография, истифода мебаранд ва барои тайёр кардани дигар ҷузъҳои сохтории баландсифат бо шаклҳои оддӣ аз керамикии карбиди силикон истифода мебаранд. Бо вуҷуди ин, мутахассисони Институти тадқиқоти масолеҳи сохтмонии Чин аз технологияи омодасозии хусусӣ барои ба даст овардани омода кардани оинаҳои чоркунҷаи керамикии карбиди силикон ва дигар ҷузъҳои сохторӣ ва функсионалии оптикӣ барои мошинҳои литография истифода кардаанд.
Вақти нашр: 10 октябри соли 2024