ফটোলিথোগ্রাফি মেশিনের নির্ভুল যন্ত্রাংশের জন্য পছন্দের উপাদান
সেমিকন্ডাক্টর ক্ষেত্রে,সিলিকন কার্বাইড সিরামিকউপকরণগুলি মূলত ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট তৈরির জন্য মূল সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত হয়, যেমন সিলিকন কার্বাইড ওয়ার্কটেবল, গাইড রেল,প্রতিফলক, সিরামিক সাকশন চাক, লিথোগ্রাফি মেশিনের জন্য বাহু, গ্রাইন্ডিং ডিস্ক, ফিক্সচার ইত্যাদি।
সিলিকন কার্বাইড সিরামিক যন্ত্রাংশসেমিকন্ডাক্টর এবং অপটিক্যাল সরঞ্জামের জন্য
● সিলিকন কার্বাইড সিরামিক গ্রাইন্ডিং ডিস্ক। যদি গ্রাইন্ডিং ডিস্কটি ঢালাই লোহা বা কার্বন ইস্পাত দিয়ে তৈরি হয়, তবে এর পরিষেবা জীবন কম এবং এর তাপীয় প্রসারণ সহগ বড়। সিলিকন ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের সময়, বিশেষ করে উচ্চ-গতির গ্রাইন্ডিং বা পলিশিংয়ের সময়, গ্রাইন্ডিং ডিস্কের ক্ষয় এবং তাপীয় বিকৃতি সিলিকন ওয়েফারের সমতলতা এবং সমান্তরালতা নিশ্চিত করা কঠিন করে তোলে। সিলিকন কার্বাইড সিরামিক দিয়ে তৈরি গ্রাইন্ডিং ডিস্কের কঠোরতা উচ্চ এবং পরিধান কম, এবং তাপীয় প্রসারণ সহগ মূলত সিলিকন ওয়েফারের মতোই, তাই এটিকে উচ্চ গতিতে গ্রাইন্ড এবং পালিশ করা যেতে পারে।
● সিলিকন কার্বাইড সিরামিক ফিক্সচার। এছাড়াও, যখন সিলিকন ওয়েফার তৈরি করা হয়, তখন তাদের উচ্চ-তাপমাত্রার তাপ চিকিত্সার মধ্য দিয়ে যেতে হয় এবং প্রায়শই সিলিকন কার্বাইড ফিক্সচার ব্যবহার করে পরিবহন করা হয়। এগুলি তাপ-প্রতিরোধী এবং অ-ধ্বংসাত্মক। কর্মক্ষমতা বৃদ্ধি, ওয়েফারের ক্ষতি কমাতে এবং দূষণ ছড়িয়ে পড়া রোধ করতে পৃষ্ঠে হীরার মতো কার্বন (DLC) এবং অন্যান্য আবরণ প্রয়োগ করা যেতে পারে।
● সিলিকন কার্বাইড ওয়ার্কটেবিল। লিথোগ্রাফি মেশিনের ওয়ার্কটেবিলকে উদাহরণ হিসেবে নিলে, ওয়ার্কটেবিলটি মূলত এক্সপোজার মুভমেন্ট সম্পন্ন করার জন্য দায়ী, যার জন্য উচ্চ-গতি, বৃহৎ-স্ট্রোক, ছয়-ডিগ্রি-অফ-ফ্রিডম ন্যানো-লেভেলের অতি-নির্ভুল মুভমেন্ট প্রয়োজন। উদাহরণস্বরূপ, ১০০ ন্যানোমিটার রেজোলিউশন, ৩৩ ন্যানোমিটার ওভারলে নির্ভুলতা এবং ১০ ন্যানোমিটার লাইন প্রস্থ সহ একটি লিথোগ্রাফি মেশিনের জন্য, ওয়ার্কটেবিল পজিশনিং নির্ভুলতা ১০ ন্যানোমিটারে পৌঁছাতে হবে, মাস্ক-সিলিকন ওয়েফারের যুগপত স্টেপিং এবং স্ক্যানিং গতি যথাক্রমে ১৫০ ন্যানোমিটার/সেকেন্ড এবং ১২০ ন্যানোমিটার/সেকেন্ড, এবং মাস্ক স্ক্যানিং গতি ৫০০ ন্যানোমিটার/সেকেন্ডের কাছাকাছি, এবং ওয়ার্কটেবিলে খুব উচ্চ গতির নির্ভুলতা এবং স্থিতিশীলতা থাকা প্রয়োজন।
ওয়ার্কটেবিল এবং মাইক্রো-মোশন টেবিলের স্কিম্যাটিক ডায়াগ্রাম (আংশিক অংশ)
● সিলিকন কার্বাইড সিরামিক বর্গাকার আয়না। লিথোগ্রাফি মেশিনের মতো মূল ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট সরঞ্জামের মূল উপাদানগুলির জটিল আকার, জটিল মাত্রা এবং ফাঁপা হালকা কাঠামো থাকে, যার ফলে এই ধরনের সিলিকন কার্বাইড সিরামিক উপাদানগুলি প্রস্তুত করা কঠিন হয়ে পড়ে। বর্তমানে, নেদারল্যান্ডসের ASML, জাপানের NIKON এবং CANON-এর মতো মূলধারার আন্তর্জাতিক ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট সরঞ্জাম নির্মাতারা লিথোগ্রাফি মেশিনের মূল উপাদান বর্গাকার আয়না প্রস্তুত করতে প্রচুর পরিমাণে মাইক্রোক্রিস্টালাইন গ্লাস এবং কর্ডিয়ারাইট ব্যবহার করে এবং সহজ আকারের অন্যান্য উচ্চ-কার্যক্ষমতাসম্পন্ন কাঠামোগত উপাদান প্রস্তুত করতে সিলিকন কার্বাইড সিরামিক ব্যবহার করে। তবে, চীন বিল্ডিং ম্যাটেরিয়ালস রিসার্চ ইনস্টিটিউটের বিশেষজ্ঞরা লিথোগ্রাফি মেশিনের জন্য বৃহৎ আকারের, জটিল আকৃতির, অত্যন্ত হালকা, সম্পূর্ণরূপে আবদ্ধ সিলিকন কার্বাইড সিরামিক বর্গাকার আয়না এবং অন্যান্য কাঠামোগত এবং কার্যকরী অপটিক্যাল উপাদানগুলির প্রস্তুতি অর্জনের জন্য মালিকানাধীন প্রস্তুতি প্রযুক্তি ব্যবহার করেছেন।
পোস্টের সময়: অক্টোবর-১০-২০২৪