ফটোলিথোগ্রাফি মেশিনের সূক্ষ্ম যন্ত্রাংশের জন্য পছন্দের উপাদান
সেমিকন্ডাক্টর ক্ষেত্রে,সিলিকন কার্বাইড সিরামিকএই উপাদানগুলো মূলত ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট তৈরির মূল সরঞ্জামগুলোতে ব্যবহৃত হয়, যেমন সিলিকন কার্বাইড ওয়ার্কটেবিল, গাইড রেল,প্রতিফলক, সিরামিক সাকশন চাকলিথোগ্রাফি মেশিনের জন্য আর্ম, গ্রাইন্ডিং ডিস্ক, ফিক্সচার ইত্যাদি।
সিলিকন কার্বাইড সিরামিক অংশসেমিকন্ডাক্টর এবং অপটিক্যাল সরঞ্জামের জন্য
● সিলিকন কার্বাইড সিরামিক গ্রাইন্ডিং ডিস্ক। যদি গ্রাইন্ডিং ডিস্কটি ঢালাই লোহা বা কার্বন স্টিলের তৈরি হয়, তবে এর কার্যকাল কম হয় এবং এর তাপীয় প্রসারণ সহগ বেশি থাকে। সিলিকন ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের সময়, বিশেষ করে উচ্চ-গতিতে গ্রাইন্ডিং বা পলিশিং করার সময়, গ্রাইন্ডিং ডিস্কের ক্ষয় এবং তাপীয় বিকৃতির কারণে সিলিকন ওয়েফারের সমতলতা এবং সমান্তরালতা নিশ্চিত করা কঠিন হয়ে পড়ে। সিলিকন কার্বাইড সিরামিক দিয়ে তৈরি গ্রাইন্ডিং ডিস্কের কাঠিন্য বেশি এবং ক্ষয় কম, এবং এর তাপীয় প্রসারণ সহগ মূলত সিলিকন ওয়েফারের সমান, তাই এটি দিয়ে উচ্চ গতিতে গ্রাইন্ড এবং পলিশ করা যায়।
● সিলিকন কার্বাইড সিরামিক ফিক্সচার। এছাড়াও, সিলিকন ওয়েফার উৎপাদনের সময় সেগুলোকে উচ্চ-তাপমাত্রার হিট ট্রিটমেন্টের মধ্য দিয়ে যেতে হয় এবং প্রায়শই সিলিকন কার্বাইড ফিক্সচার ব্যবহার করে পরিবহন করা হয়। এগুলো তাপ-প্রতিরোধী এবং ক্ষতিহীন। কর্মক্ষমতা বাড়াতে, ওয়েফারের ক্ষতি কমাতে এবং দূষণ ছড়ানো প্রতিরোধ করতে এর পৃষ্ঠে ডায়মন্ড-লাইক কার্বন (DLC) এবং অন্যান্য কোটিং প্রয়োগ করা যেতে পারে।
● সিলিকন কার্বাইড ওয়ার্কটেবিল। লিথোগ্রাফি মেশিনের ওয়ার্কটেবিলকে উদাহরণ হিসেবে নিলে, এটি প্রধানত এক্সপোজার মুভমেন্ট সম্পন্ন করার জন্য দায়ী, যার জন্য উচ্চ-গতি, বড়-স্ট্রোক, ছয়-ডিগ্রি-অফ-ফ্রিডম ন্যানো-স্তরের অতি-সঠিক মুভমেন্ট প্রয়োজন। উদাহরণস্বরূপ, ১০০nm রেজোলিউশন, ৩৩nm ওভারলে অ্যাকুরেসি এবং ১০nm লাইন উইডথ-এর একটি লিথোগ্রাফি মেশিনের জন্য, ওয়ার্কটেবিলের পজিশনিং অ্যাকুরেসি ১০nm হওয়া প্রয়োজন, মাস্ক-সিলিকন ওয়েফারের একযোগে স্টেপিং এবং স্ক্যানিং গতি যথাক্রমে ১৫০nm/s এবং ১২০nm/s, এবং মাস্ক স্ক্যানিং গতি প্রায় ৫০০nm/s, এবং ওয়ার্কটেবিলটির অত্যন্ত উচ্চ গতির নির্ভুলতা এবং স্থিতিশীলতা থাকা প্রয়োজন।
ওয়ার্কটেবিল এবং মাইক্রো-মোশন টেবিলের নকশাচিত্র (আংশিক ছেদ)
● সিলিকন কার্বাইড সিরামিক বর্গাকার আয়না। লিথোগ্রাফি মেশিনের মতো গুরুত্বপূর্ণ ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট সরঞ্জামের মূল উপাদানগুলির আকৃতি ও মাত্রা জটিল এবং এগুলির কাঠামো ফাঁপা ও হালকা হওয়ায় এই ধরনের সিলিকন কার্বাইড সিরামিক উপাদান প্রস্তুত করা কঠিন হয়ে পড়ে। বর্তমানে, নেদারল্যান্ডসের ASML, জাপানের NIKON এবং CANON-এর মতো প্রধান আন্তর্জাতিক ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট সরঞ্জাম প্রস্তুতকারক সংস্থাগুলি লিথোগ্রাফি মেশিনের মূল উপাদান বর্গাকার আয়না প্রস্তুত করতে মাইক্রোক্রিস্টালাইন গ্লাস এবং কর্ডিয়ারাইটের মতো প্রচুর পরিমাণে উপকরণ ব্যবহার করে এবং সরল আকৃতির অন্যান্য উচ্চ-কার্যক্ষমতাসম্পন্ন কাঠামোগত উপাদান প্রস্তুত করতে সিলিকন কার্বাইড সিরামিক ব্যবহার করে। তবে, চায়না বিল্ডিং মেটেরিয়ালস রিসার্চ ইনস্টিটিউটের বিশেষজ্ঞরা নিজস্ব প্রস্তুতি প্রযুক্তি ব্যবহার করে লিথোগ্রাফি মেশিনের জন্য বড় আকারের, জটিল আকৃতির, অত্যন্ত হালকা, সম্পূর্ণ আবদ্ধ সিলিকন কার্বাইড সিরামিক বর্গাকার আয়না এবং অন্যান্য কাঠামোগত ও কার্যকরী অপটিক্যাল উপাদান প্রস্তুত করতে সক্ষম হয়েছেন।
পোস্ট করার সময়: ১০-অক্টোবর-২০২৪