Lilo awọn seramiki silikoni carbide ni aaye semiconductor

Ohun elo ti a fẹ julọ fun awọn ẹya deede ti awọn ẹrọ fọtolithography

Nínú pápá semikondokito,seramiki silikoni carbideÀwọn ohun èlò ni a sábà máa ń lò nínú àwọn ohun èlò pàtàkì fún ṣíṣe ẹ̀rọ ìṣiṣẹ́ alágbékalẹ̀, bíi tábìlì iṣẹ́ silicon carbide, àwọn irin ìtọ́sọ́nà,àwọn àtúnṣe, seramiki fifa nkan, apá, àwọn díìsì ìlọ, àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ fún àwọn ẹ̀rọ lithography.

Awọn ẹya seramiki silikoni carbidefun semikondokito ati ohun elo opitika

● Díìsì ìlọ símẹ́ǹtì silíkónì káàbọ̀ìdì. Tí díìsì ìlọ símẹ́ǹtì bá jẹ́ ti irin dídà tàbí irin erogba, iṣẹ́ rẹ̀ kúrú, iye ìgbà tí ó ń ṣiṣẹ́ sì pọ̀. Nígbà tí a bá ń ṣe àwọn wàrà silíkónì, pàápàá jùlọ nígbà tí a bá ń lọ̀ tàbí tí a ń yọ́, ìbàjẹ́ àti ìyípadà ooru ti díìsì ìlọ símẹ́ǹtì mú kí ó ṣòro láti rí i dájú pé wàrà silíkónì náà tẹ́jú àti pé ó jọra. Díìsì ìlọ símẹ́ǹtì silíkónì káàbọ̀ìdì ní líle gíga àti ìbàjẹ́ díẹ̀, iye ìgbà tí a ń lọ̀ sì jẹ́ ọ̀kan náà gẹ́gẹ́ bí ti wàrà silíkónì, nítorí náà a lè lọ̀ ọ́ kí a sì yọ́ ọ ní iyàrá gíga.
● Ohun èlò seramiki silikoni carbide. Ní àfikún, nígbà tí a bá ń ṣe àwọn wafer silikoni, wọ́n nílò láti ṣe ìtọ́jú ooru gbígbóná gíga, a sì sábà máa ń fi àwọn ohun èlò silikoni carbide gbé wọn lọ. Wọ́n jẹ́ ohun tí kò lè gbóná, wọn kò sì lè parun. A lè lo carbon bíi diamond (DLC) àti àwọn ìbòrí mìíràn lórí ojú ilẹ̀ láti mú kí iṣẹ́ wọn sunwọ̀n sí i, láti dín ìbàjẹ́ wafer kù, àti láti dènà ìbàjẹ́ láti tàn kálẹ̀.
● Àtẹ iṣẹ́ carbide silicon. Bí a bá wo àtẹ iṣẹ́ nínú ẹ̀rọ lithography gẹ́gẹ́ bí àpẹẹrẹ, àtẹ iṣẹ́ ni ó ṣe pàtàkì fún píparí ìṣípopadà ìfarahàn, tí ó nílò ìṣípo gíga, ìlọ́po ńlá, ìpele mẹ́fà-orí-òmìnira nano-level ultra-precision. Fún àpẹẹrẹ, fún ẹ̀rọ lithography pẹ̀lú ìpinnu 100nm, ìṣedéédé overlapse ti 33nm, àti ìwọ̀n ìlà ti 10nm, ìṣedéédé ipò àtẹ iṣẹ́ ni a nílò láti dé 10nm, àwọn iyàrá ìgbésẹ̀ mask-silicon àti scanning nígbà kan náà jẹ́ 150nm/s àti 120nm/s lẹ́sẹẹsẹ, àti iyàrá ìwòran ibojú náà súnmọ́ 500nm/s, àti pé àtẹ iṣẹ́ náà nílò láti ní ìṣedéédé gíga àti ìdúróṣinṣin.

Àwòrán onípele ti tábìlì iṣẹ́ àti tábìlì ìṣípo kékeré (apá kan)

● Dígí onígun mẹ́rin seramiki silikoni carbide. Àwọn èròjà pàtàkì nínú àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ onígun mẹ́rin bíi ẹ̀rọ lithography ní àwọn àwòrán dídíjú, àwọn ìwọ̀n dídíjú, àti àwọn ètò fẹ́ẹ́rẹ́fẹ́ oníhò, èyí tí ó mú kí ó ṣòro láti pèsè irú àwọn èròjà seramiki silikoni carbide bẹ́ẹ̀. Lọ́wọ́lọ́wọ́, àwọn olùpèsè ohun èlò ìṣiṣẹ́ onígun mẹ́rin kárí ayé, bíi ASML ní Netherlands, NIKON àti CANON ní Japan, ń lo ọ̀pọ̀lọpọ̀ ohun èlò bíi gilasi microcrystalline àti cordierite láti pèsè àwọn dígí onígun mẹ́rin, àwọn èròjà pàtàkì nínú àwọn ẹ̀rọ lithography, àti láti lo àwọn ohun èlò seramiki silikoni carbide láti pèsè àwọn èròjà ìṣiṣẹ́ gíga mìíràn pẹ̀lú àwọn àwòrán tí ó rọrùn. Síbẹ̀síbẹ̀, àwọn ògbógi láti China Building Materials Research Institute ti lo ìmọ̀-ẹ̀rọ ìpèsè tí ó ní agbára láti ṣe àṣeyọrí ìpèsè àwọn dígí onígun mẹ́rin seramiki silikoni carbide onígun mẹ́rin àti àwọn èròjà ìṣiṣẹ́ mìíràn fún àwọn ẹ̀rọ lithography.