Fa'aaogāina o keramika silicon carbide i le fanua o semiconductor

O mea e sili ona manaʻomia mo vaega saʻo o masini photolithography

I le matata o semiconductor,seramika karbida silicono meafaitino e faʻaaogaina tele i masini autu mo le gaosiga o le matagaluega tuʻufaʻatasi, e pei o le laulau faigaluega silicon carbide, ala faʻatonutonu,mea fa'aataata, siku fa'asusu seramika, lima, tisiketi olo, mea fa'apipi'i, ma isi mea fa'apena mo masini vali ata.

Vaega seramika silicon carbidemo masini semiconductor ma masini opitika

● Tisiketi olo seramika e faia i le uʻamea poʻo le uʻamea kaponi, e puʻupuʻu lona umi e faʻaaogaina ai ma e tele foʻi lona faʻalauteleina o le vevela. I le taimi o le faʻagasologaina o le silicon wafers, aemaise lava i le taimi o le oloina poʻo le faʻapulusina i le saoasaoa maualuga, o le ofuina ma le faʻaleagaina o le vevela o le tisiketi olo e faigata ai ona faʻamautinoa le lamolemole ma le tutusa o le silicon wafer. O le tisiketi olo e faia i le silicon carbide ceramics e maualuga le maʻaʻa ma e itiiti le ofuina, ma o le faʻalauteleina o le vevela e tutusa lava ma le silicon wafers, o lea e mafai ai ona oloina ma faʻapulusina i le saoasaoa maualuga.
● Mea fa'apipi'i seramika e fai i le silicone carbide. E le gata i lea, pe a gaosia ni wafers silicon, e mana'omia ona faia i ai le togafitiga vevela maualuga ma e masani ona feavea'i e fa'aaoga ai mea fa'apipi'i silicon carbide. E tete'e atu i le vevela ma e le fa'aleagaina. E mafai ona fa'apipi'i le kaponi e pei o le taimane (DLC) ma isi vali i luga o le fogā'ele'ele e fa'aleleia atili ai le fa'atinoga, fa'aitiitia ai le fa'aleagaina o le wafer, ma puipuia ai le sosolo o le fa'aleagaina.
● Laʻau faigaluega e faʻaaogaina ai le Silicon carbide. Afai e fai ma faʻataʻitaʻiga le laʻau faigaluega i totonu o le masini lithography, o le laʻau faigaluega e nafa ma le faʻamaeʻaina o le gaioiga o le faʻaalia, e manaʻomia ai le gaioiga saʻo tele ma le saoasaoa maualuga, e ono tikeri o le saʻolotoga o le nano. Mo se faʻataʻitaʻiga, mo se masini lithography e 100nm le iugafono, e 33nm le saʻo o le ufiufi, ma e 10nm le lautele o le laina, e manaʻomia le saʻo o le tulaga o le laʻau faigaluega e oʻo atu i le 10nm, o le saoasaoa o le laʻasaga ma le scanning o le mask-silicon wafer e 150nm/s ma le 120nm/s, ma o le saoasaoa o le scanning o le mask e lata i le 500nm/s, ma e manaʻomia le maualuga o le saʻo ma le mautu o le gaioiga o le laʻau faigaluega.

O le ata fa'ata'ita'i o le laulau faigaluega ma le laulau gaioiga laiti (vaega o vaega)

● Fa'ata fa'atafafā seramika silicon carbide. O vaega autū i masini feso'ota'iga autū e pei o masini lithography e iai foliga faigata, fua fa'atatau faigata, ma fausaga mama gaogao, ma faigata ai ona saunia ia vaega seramika silicon carbide. I le taimi nei, o kamupani gaosi oloa fa'avaomalo tetele o masini feso'ota'iga, e pei o le ASML i Netherlands, NIKON ma CANON i Iapani, e fa'aogaina le tele o mea e pei o le tioata microcrystalline ma le cordierite e saunia ai fa'ata fa'atafafā, o vaega autū ia o masini lithography, ma fa'aogaina seramika silicon carbide e saunia ai isi vaega fa'atulagaina maualuga le fa'atinoga ma foliga faigofie. Peita'i, o tagata tomai faapitoa mai le Inisetiute o Su'esu'ega Meafaitino Faufale a Saina ua fa'aogaina le tekinolosi sauniuniga fa'apitoa e ausia ai le sauniuniga o fa'ata fa'atafafā seramika silicon carbide tetele, foliga faigata, mama tele, ua tapunia atoa ma isi vaega opitika fa'atulagaina ma aoga mo masini lithography.