Fotolitografiýa maşynlarynyň takyk bölekleri üçin iň gowy material
Ýarymgeçirijiler ulgamynda,kremniý karbidi keramikasymateriallar, esasan, integrasiýa mikroshemalaryny öndürmek üçin esasy enjamlarda, mysal üçin, kremniý karbid iş stolunda, ýol görkeziji reýslerde, ulanylýar.reflektorlar, keramiki sorujy patron, litografiýa maşynlary üçin gollar, üwürtme diskleri, enjamlar we ş.m.
Silikon karbid keramiki bölekleriýarymgeçiriji we optik enjamlar üçin
● Kremniý karbid keramiki üwürtmek diski. Eger üwürtmek diski çoýundan ýa-da uglerod polatdan ýasalan bolsa, onuň hyzmat ediş möhleti gysga we termal giňelme koeffisiýenti uly bolýar. Kremniý waferlerini gaýtadan işlemek wagtynda, esasanam ýokary tizlikli üwürtmek ýa-da jylalamak wagtynda, üwürtmek diskiniň aşynmagy we termal deformasiýa kremniý waferiniň tekizligini we parallelligini üpjün etmegi kynlaşdyrýar. Kremniý karbid keramikasyndan ýasalan üwürtmek diski ýokary berklige we pes aşynmaga eýedir we termal giňelme koeffisiýenti esasan kremniý waferleri bilen birmeňzeşdir, şonuň üçin ony ýokary tizlikde üwürtmek we jylalamak mümkin.
● Kremniý karbid keramiki armatura. Mundan başga-da, kremniý waferleri öndürilende, olar ýokary temperaturada ýylylyk bilen işlenmeli we köplenç kremniý karbid armaturalary arkaly daşalýar. Olar ýylylyga çydamly we zaýalanmaýandyr. Işleýişini ýokarlandyrmak, waferiň zeperlenmegini azaltmak we hapalanmagyň ýaýramagynyň öňüni almak üçin ýüzüne almaz ýaly uglerod (DLC) we beýleki örtükler ulanylyp bilner.
● Kremniý karbidi iş stoly. Litografiýa maşynyndaky iş stolyny mysal hökmünde alsak, iş stoly esasan ekspozisiýa hereketini tamamlamak üçin jogapkär bolup, ýokary tizlikli, uly taktly, alty derejeli erkinlikli nano derejeli ultra takyk hereketi talap edýär. Mysal üçin, 100 nm çözgütli, 33 nm örtük takyklygy we 10 nm çyzyk giňligi bolan litografiýa maşyny üçin iş stolynyň ýerleşdirilişiniň takyklygynyň 10 nm-e ýetmegi, maska-kremniý plastinasynyň bir wagtda basyş we skanirleme tizligi degişlilikde 150 nm/s we 120 nm/s, maska skanirleme tizligi bolsa 500 nm/s-e golaý we iş stolynyň örän ýokary hereket takyklygyna we durnuklylygyna eýe bolmagy talap edilýär.
Iş stolunyň we mikrohereket stolunyň shematiki diagrammasy (bölekleýin bölek)
● Kremniý karbid keramiki inedördül aýna. Litografiýa maşynlary ýaly esasy integral mikrosxema enjamlarynyň esasy bölekleri çylşyrymly görnüşlere, çylşyrymly ölçeglere we boş ýeňil gurluşlara eýedir, bu bolsa şeýle kremniý karbid keramiki böleklerini taýýarlamagy kynlaşdyrýar. Häzirki wagtda Niderlandlardaky ASML, Ýaponiýadaky NIKON we CANON ýaly esasy halkara integral mikrosxema enjamlaryny öndürijiler litografiýa maşynlarynyň esasy bölekleri bolan inedördül aýnalary taýýarlamak üçin mikrokristal aýna we kordierit ýaly köp mukdarda materiallary ulanýarlar we ýönekeý görnüşler bilen beýleki ýokary öndürijilikli gurluşyk böleklerini taýýarlamak üçin kremniý karbid keramikasyny ulanýarlar. Şeýle-de bolsa, Hytaýyň Gurluşyk Materiallary Ylmy-barlag Institutynyň hünärmenleri litografiýa maşynlary üçin uly ölçegli, çylşyrymly görnüşdäki, örän ýeňil, doly ýapyk kremniý karbid keramiki inedördül aýnalary we beýleki gurluşyk we funksiýa optiki bölekleri taýýarlamak üçin hususy taýýarlamak tehnologiýasyny ulandylar.
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 10-njy oktýabry