Ярымүткәргечләр өлкәсендә кремний карбиды керамикасын куллану

Фотолитография машиналарының төгәл детальләре өчен өстенлекле материал

Ярымүткәргечләр өлкәсендә,кремний карбиды керамикасыматериаллар, нигездә, интеграль схемалар җитештерү өчен төп җиһазларда кулланыла, мәсәлән, кремний карбиды эш өстәле, юнәлеш бирүче рельслар,чагылдыргычлар, керамик суыргыч патрон, куллар, шлифовкалау дисклары, җайланмалар һ.б. литография машиналары өчен.

Кремний карбиды керамик детальләреярымүткәргеч һәм оптик җиһазлар өчен

● Кремний карбиды керамик тарту дискы. Әгәр тарту дискы чуен яки углерод корычыннан ясалган булса, аның хезмәт итү вакыты кыска, ә җылылык киңәю коэффициенты зур. Кремний пластиналарын эшкәртү вакытында, бигрәк тә югары тизлектә тарту яки ялтырату вакытында, тарту дискының тузуы һәм җылылык деформациясе кремний пластинасының яссылыгын һәм параллеллыгын тәэмин итүне катлауландыра. Кремний карбиды керамикасыннан ясалган тарту дискы югары катылыкка һәм түбән тузуга ия, һәм җылылык киңәю коэффициенты, нигездә, кремний пластиналары белән бер үк, шуңа күрә аны югары тизлектә вакларга һәм ялтыратарга мөмкин.
● Кремний карбиды керамик җайланмасы. Моннан тыш, кремний пластиналары җитештерелгәндә, аларны югары температуралы җылылык эшкәртүе үтәргә кирәк һәм еш кына кремний карбиды җайланмалары ярдәмендә ташыла. Алар җылылыкка чыдам һәм җимерми. Эшчәнлекне яхшырту, пластиналарның зарарлануын киметү һәм пычрануның таралуын булдырмау өчен өслеккә алмазсыман углерод (DLC) һәм башка каплаулар кулланырга мөмкин.
● Кремний карбиды эш өстәле. Литография машинасындагы эш өстәлен мисал итеп алсак, эш өстәле, нигездә, экспозиция хәрәкәтен тәмамлау өчен җаваплы, югары тизлекле, зур тактлы, алты градуслы нано-дәрәҗәле ультра төгәл хәрәкәт таләп итә. Мәсәлән, 100 нм чишелешле, 33 нм катлам төгәллеге һәм 10 нм сызык киңлеге булган литография машинасы өчен эш өстәлен урнаштыру төгәллеге 10 нм га җитәргә тиеш, битлек-кремний пластинасын бер үк вакытта адымлау һәм сканерлау тизлеге 150 нм/с һәм 120 нм/с тәшкил итә, ә битлекне сканерлау тизлеге 500 нм/с га якын, һәм эш өстәле бик югары хәрәкәт төгәллегенә һәм тотрыклылыгына ия булырга тиеш.

Эш өстәленең һәм микро-хәрәкәт өстәленең схемасы (өлешчә кисемтә)

● Кремний карбиды керамик квадрат көзге. Литография машиналары кебек төп интеграль схема җиһазларындагы төп компонентлар катлаулы формаларга, катлаулы үлчәмнәргә һәм буш җиңел структураларга ия, шуңа күрә мондый кремний карбиды керамик компонентларын әзерләү авыр. Хәзерге вакытта Нидерландтагы ASML, Япониядәге NIKON һәм CANON кебек халыкара интеграль схема җиһазлары җитештерүчеләре литография машиналарының төп компонентлары булган квадрат көзгеләрне әзерләү өчен микрокристалл пыяла һәм кордиерит кебек күп күләмдә материаллар кулланалар һәм гади формалы башка югары нәтиҗәле структура компонентларын әзерләү өчен кремний карбиды керамикасын кулланалар. Шулай да, Кытай Төзелеш Материаллары Тикшеренү Институты белгечләре литография машиналары өчен зур күләмле, катлаулы формалы, бик җиңел, тулысынча ябык кремний карбиды керамик квадрат көзгеләрне һәм башка структураль һәм функциональ оптик компонентларны әзерләүгә ирешү өчен махсус әзерләү технологиясен кулландылар.