ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନର ସଠିକ ଅଂଶ ପାଇଁ ପସନ୍ଦିତ ସାମଗ୍ରୀ
ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ କ୍ଷେତ୍ରରେ,ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ସାମଗ୍ରୀଗୁଡ଼ିକ ମୁଖ୍ୟତଃ ସମନ୍ୱିତ ସର୍କିଟ୍ ନିର୍ମାଣ ପାଇଁ ପ୍ରମୁଖ ଉପକରଣରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଯେପରିକି ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ୱାର୍କଟେବୁଲ୍, ଗାଇଡ୍ ରେଲ୍,ପ୍ରତିଫଳକ, ସେରାମିକ୍ ସକ୍ସନ୍ ଚକ୍, ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ପାଇଁ ବାହୁ, ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଡିସ୍କ, ଫିକ୍ସଚର ଇତ୍ୟାଦି।
ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ଅଂଶଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଏବଂ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପକରଣ ପାଇଁ
● ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଡିସ୍କ। ଯଦି ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଡିସ୍କ କାଷ୍ଟ ଲୁହା କିମ୍ବା କାର୍ବନ ଷ୍ଟିଲ୍ରେ ତିଆରି ହୋଇଥାଏ, ତେବେ ଏହାର ସେବା ଜୀବନ କମ୍ ଏବଂ ଏହାର ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କ ବଡ଼। ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସମୟରେ, ବିଶେଷକରି ହାଇ-ସ୍ପିଡ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ କିମ୍ବା ପଲିସିଂ ସମୟରେ, ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଡିସ୍କର କ୍ଷୟ ଏବଂ ତାପଜ ବିକୃତି ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ର ସମତଳତା ଏବଂ ସମାନ୍ତରାଳତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା କଷ୍ଟକର କରିଥାଏ। ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ସରେ ତିଆରି ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଡିସ୍କରେ ଉଚ୍ଚ କଠୋରତା ଏବଂ କମ୍ କ୍ଷୟ ଥାଏ, ଏବଂ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କ ମୂଳତଃ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ସହିତ ସମାନ, ତେଣୁ ଏହାକୁ ଉଚ୍ଚ ଗତିରେ ଭୂମି ଏବଂ ପଲିସ୍ କରାଯାଇପାରିବ।
● ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସିରାମିକ୍ ଫିକ୍ସଚର୍। ଏହା ବ୍ୟତୀତ, ଯେତେବେଳେ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ଉତ୍ପାଦନ କରାଯାଏ, ସେମାନଙ୍କୁ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନର ଉତ୍ତାପ ଚିକିତ୍ସା କରିବାକୁ ପଡ଼ିଥାଏ ଏବଂ ପ୍ରାୟତଃ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଫିକ୍ସଚର୍ ବ୍ୟବହାର କରି ପରିବହନ କରାଯାଏ। ଏଗୁଡ଼ିକ ଉତ୍ତାପ-ପ୍ରତିରୋଧୀ ଏବଂ ବିନାଶକାରୀ ନୁହେଁ। କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ବୃଦ୍ଧି କରିବା, ୱେଫର୍ କ୍ଷତିକୁ କମ କରିବା ଏବଂ ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ବ୍ୟାପିବାରୁ ରୋକିବା ପାଇଁ ପୃଷ୍ଠରେ ହୀରା ପରି କାର୍ବନ (DLC) ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଆବରଣ ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଇପାରିବ।
● ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ କାର୍ଯ୍ୟସାରଣୀ। ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନରେ କାର୍ଯ୍ୟସାରଣୀକୁ ଉଦାହରଣ ଭାବରେ ନେବା, କାର୍ଯ୍ୟସାରଣୀ ମୁଖ୍ୟତଃ ଏକ୍ସପୋଜର ଗତି ସମାପ୍ତ କରିବା ପାଇଁ ଦାୟୀ, ଉଚ୍ଚ-ଗତି, ବଡ଼-ଷ୍ଟ୍ରୋକ୍, ଛଅ-ଡିଗ୍ରୀ-ସ୍ୱାଧୀନତା ନାନୋ-ସ୍ତରୀୟ ଅଲ୍ଟ୍ରା-ପ୍ରିସିସନ୍ ଗତି ଆବଶ୍ୟକ କରେ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, 100nm ରିଜୋଲ୍ୟୁସନ୍, 33nm ଓଭରଲେ ସଠିକତା ଏବଂ 10nm ରେଖା ପ୍ରସ୍ଥ ସହିତ ଏକ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ ପାଇଁ, କାର୍ଯ୍ୟସାରଣୀ ସ୍ଥିତି ସଠିକତା 10nm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପହଞ୍ଚିବା ଆବଶ୍ୟକ, ମାସ୍କ-ସିଲିକନ୍ ୱେଫର ଏକକାଳୀନ ପଦକ୍ଷେପ ଏବଂ ସ୍କାନିଂ ଗତି ଯଥାକ୍ରମେ 150nm/s ଏବଂ 120nm/s, ଏବଂ ମାସ୍କ ସ୍କାନିଂ ଗତି 500nm/s ପାଖାପାଖି, ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟସାରଣୀରେ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଉଚ୍ଚ ଗତି ସଠିକତା ଏବଂ ସ୍ଥିରତା ରହିବା ଆବଶ୍ୟକ।
କାର୍ଯ୍ୟସାରଣୀ ଏବଂ ମାଇକ୍ରୋ-ଗତି ଟେବୁଲର ଯୋଜନାବଦ୍ଧ ଚିତ୍ର (ଆଂଶିକ ବିଭାଗ)
● ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସିରାମିକ୍ ବର୍ଗାକାର ଦର୍ପଣ। ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ଭଳି ପ୍ରମୁଖ ସମନ୍ୱିତ ସର୍କିଟ୍ ଉପକରଣରେ ଥିବା ମୁଖ୍ୟ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଜଟିଳ ଆକାର, ଜଟିଳ ପରିମାଣ ଏବଂ ଫମ୍ପା ହାଲୁକା ଗଠନ ଥାଏ, ଯାହା ଫଳରେ ଏପରି ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସିରାମିକ୍ ଉପାଦାନ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବା କଷ୍ଟକର ହୋଇପଡ଼େ। ବର୍ତ୍ତମାନ, ନେଦରଲ୍ୟାଣ୍ଡର ASML, ଜାପାନର NIKON ଏବଂ CANON ଭଳି ମୁଖ୍ୟଧାରାର ଆନ୍ତର୍ଜାତୀୟ ସମନ୍ୱିତ ସର୍କିଟ୍ ଉପକରଣ ନିର୍ମାତାମାନେ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ର ମୁଖ୍ୟ ଉପାଦାନ ବର୍ଗାକାର ଦର୍ପଣ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବା ପାଇଁ ମାଇକ୍ରୋକ୍ରିଷ୍ଟାଲାଇନ୍ ଗ୍ଲାସ୍ ଏବଂ କର୍ଡିଏରାଇଟ୍ ଭଳି ବହୁ ପରିମାଣର ସାମଗ୍ରୀ ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତି ଏବଂ ସରଳ ଆକାର ସହିତ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଉଚ୍ଚ-କର୍ମକ୍ଷମ ସଂରଚନାତ୍ମକ ଉପାଦାନ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବା ପାଇଁ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତି। ତଥାପି, ଚୀନ୍ ନିର୍ମାଣ ସାମଗ୍ରୀ ଗବେଷଣା ପ୍ରତିଷ୍ଠାନର ବିଶେଷଜ୍ଞମାନେ ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ମେସିନ୍ ପାଇଁ ବଡ଼ ଆକାରର, ଜଟିଳ ଆକୃତିର, ଅତ୍ୟନ୍ତ ହାଲୁକା, ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ ଆବଦ୍ଧ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସିରାମିକ୍ ବର୍ଗାକାର ଦର୍ପଣ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଗଠନାତ୍ମକ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଉପାଦାନ ପ୍ରସ୍ତୁତି ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ମାଲିକାନା ପ୍ରସ୍ତୁତି ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ବ୍ୟବହାର କରିଛନ୍ତି।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଅକ୍ଟୋବର-୧୦-୨୦୨୪