Tšebeliso ea li-ceramic tsa silicon carbide tšimong ea semiconductor

Thepa e ratoang bakeng sa likarolo tse nepahetseng tsa mechini ea photolithography

Lefapheng la semiconductor,silicon carbide ceramicLisebelisoa li sebelisoa haholo-holo lisebelisoa tsa bohlokoa bakeng sa tlhahiso ea potoloho e kopaneng, joalo ka tafole ea mosebetsi ea silicon carbide, literene tse tataisang,libonts'o, sekotwana sa ho hula sa ceramic, matsoho, di-disc tsa ho sila, disebediswa, jj. bakeng sa mechini ya lithography.

Likarolo tsa ceramic tsa silicon carbidebakeng sa lisebelisoa tsa semiconductor le tsa optical

● Disiki ea silicon carbide ea ceramic e silang. Haeba diski ea silicon e entsoe ka tšepe e lahlehileng kapa tšepe ea carbon, nako ea eona ea ts'ebeletso e khutšoanyane 'me coefficient ea eona ea katoloso ea mocheso e kholo. Nakong ea ts'ebetso ea li-wafer tsa silicon, haholo-holo nakong ea ho sila kapa ho polishing ka lebelo le phahameng, ho tsofala le ho fetoha ha mocheso ha diski ea silicon ho etsa hore ho be thata ho netefatsa hore wafer ea silicon e bataletse ebile e tšoana. Disiki ea silicon carbide e silang e na le boima bo phahameng le ho tsofala ho fokolang, 'me coefficient ea katoloso ea mocheso e tšoana hantle le ea li-wafer tsa silicon, kahoo e ka siloa le ho penta ka lebelo le phahameng.
● Sesebediswa sa ceramic sa silicon carbide. Ho phaella moo, ha di-wafer tsa silicon di hlahiswa, di hloka ho futhumatswa ka mocheso o phahameng mme hangata di tsamaiswa ka ho sebedisa disebediswa tsa silicon carbide. Di hanela mocheso mme ha di senyehe. Khabone e kang taemane (DLC) le dikobo tse ding di ka sebediswa hodima bokahodimo ho ntlafatsa tshebetso, ho fokotsa tshenyo ya wafer, le ho thibela tshilafatso ho ata.
● Tafole ea mosebetsi ea silicon carbide. Ha re nka tafole ea mosebetsi mochining oa lithography e le mohlala, tafole ea mosebetsi e ikarabella haholo bakeng sa ho phethela motsamao oa ho pepesehela, o hlokang motsamao o phahameng, o nang le lebelo le leholo, oa maemo a tšeletseng a nano-freedom ultra-precision. Mohlala, bakeng sa mochini oa lithography o nang le qeto ea 100nm, ho nepahala ha overlay ea 33nm, le bophara ba mola oa 10nm, ho nepahala ha sebaka sa tafole ea mosebetsi hoa hlokahala ho fihla ho 10nm, lebelo la ho hata le ho skena la maske-silicon ka nako e le 'ngoe ke 150nm/s le 120nm/s ka ho latellana, 'me lebelo la ho skena maske le haufi le 500nm/s, 'me tafole ea mosebetsi e hlokahala hore e be le ho nepahala le botsitso bo phahameng haholo ba motsamao.

Setšoantšo sa moralo sa tafole ea mosebetsi le tafole ea motsamao o monyenyane (karolo e sa fellang)

● Seipone sa sekwere sa ceramic sa silicon carbide. Likarolo tsa bohlokoa lisebelisoa tsa bohlokoa tsa potoloho e kopaneng joalo ka mechini ea lithography li na le libopeho tse rarahaneng, litekanyo tse rarahaneng, le meaho e bobebe e se nang letho, e leng se etsang hore ho be thata ho lokisa likarolo tse joalo tsa silicon carbide ceramic. Hona joale, bahlahisi ba lisebelisoa tsa potoloho e kopaneng ba machaba, joalo ka ASML Netherlands, NIKON le CANON Japane, ba sebelisa lisebelisoa tse ngata tse kang khalase ea microcrystalline le cordierite ho lokisa liipone tse sekwere, likarolo tsa mantlha tsa mechini ea lithography, 'me ba sebelisa li-ceramic tsa silicon carbide ho lokisa likarolo tse ling tsa sebopeho tse sebetsang hantle tse nang le libopeho tse bonolo. Leha ho le joalo, litsebi tse tsoang Setsing sa Lipatlisiso sa Lisebelisoa tsa Kaho sa Chaena li sebelisitse theknoloji ea ho lokisa e ikemetseng ho fihlela ho lokisoa ha liipone tse sekwere tsa ceramic tsa silicon carbide tse kholo, tse bōpehileng joaloka tse rarahaneng, tse bobebe haholo, tse koetsoeng ka botlalo le likarolo tse ling tsa optical tsa sebopeho le tse sebetsang bakeng sa mechini ea lithography.