សម្ភារៈដែលពេញចិត្តសម្រាប់ផ្នែកដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់នៃម៉ាស៊ីនថតចម្លងពន្លឺ
នៅក្នុងវិស័យអេឡិចត្រូនិកពាក់កណ្តាលខ្លួនសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីតសម្ភារៈភាគច្រើនត្រូវបានប្រើនៅក្នុងឧបករណ៍សំខាន់ៗសម្រាប់ការផលិតសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា ដូចជាតុធ្វើការស៊ីលីកុនកាប៊ីត ផ្លូវរថភ្លើងណែនាំកញ្ចក់ឆ្លុះ, ក្បាលបូមសេរ៉ាមិចដៃ ឌីសកិន គ្រឿងបរិក្ខារ ជាដើម សម្រាប់ម៉ាស៊ីនលីតូក្រាហ្វី។
គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីតសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងអុបទិក
● ឌីសកិនសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីត។ ប្រសិនបើឌីសកិនត្រូវបានផលិតពីដែកវណ្ណះ ឬដែកថែបកាបូន អាយុកាលសេវាកម្មរបស់វាគឺខ្លី ហើយមេគុណពង្រីកកម្ដៅរបស់វាគឺធំ។ ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការបន្ទះស៊ីលីកុន ជាពិសេសក្នុងអំឡុងពេលកិន ឬប៉ូលាល្បឿនលឿន ការពាក់ និងការខូចទ្រង់ទ្រាយកម្ដៅនៃឌីសកិនធ្វើឱ្យវាពិបាកក្នុងការធានាបាននូវភាពរាបស្មើ និងភាពស្របគ្នានៃបន្ទះស៊ីលីកុន។ ឌីសកិនដែលធ្វើពីសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីតមានភាពរឹងខ្ពស់ និងការពាក់ទាប ហើយមេគុណពង្រីកកម្ដៅគឺដូចគ្នានឹងបន្ទះស៊ីលីកុនដែរ ដូច្នេះវាអាចត្រូវបានកិន និងប៉ូលាក្នុងល្បឿនលឿន។
● គ្រឿងបរិក្ខារសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីត។ លើសពីនេះ នៅពេលដែលបន្ទះស៊ីលីកុនត្រូវបានផលិត ពួកវាត្រូវឆ្លងកាត់ការព្យាបាលកំដៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ហើយជារឿយៗត្រូវបានដឹកជញ្ជូនដោយប្រើគ្រឿងបរិក្ខារស៊ីលីកុនកាប៊ីត។ ពួកវាធន់នឹងកំដៅ និងមិនបំផ្លិចបំផ្លាញ។ កាបូនដូចពេជ្រ (DLC) និងថ្នាំកូតផ្សេងទៀតអាចត្រូវបានលាបលើផ្ទៃដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាព កាត់បន្ថយការខូចខាតបន្ទះស៊ីលីកុន និងការពារការចម្លងរោគពីការរីករាលដាល។
● តុធ្វើការស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ។ ដោយយកតុធ្វើការនៅក្នុងម៉ាស៊ីនលីចូក្រាហ្វីជាឧទាហរណ៍ តុធ្វើការភាគច្រើនទទួលខុសត្រូវចំពោះការបញ្ចប់ចលនាបង្ហាញ ដែលតម្រូវឱ្យមានចលនាណាណូកម្រិតសេរីភាពល្បឿនលឿន ចលនាធំ និងភាពជាក់លាក់ខ្ពស់កម្រិតប្រាំមួយដឺក្រេ។ ឧទាហរណ៍ សម្រាប់ម៉ាស៊ីនលីចូក្រាហ្វីដែលមានគុណភាពបង្ហាញ 100nm ភាពត្រឹមត្រូវនៃការត្រួតលើគ្នា 33nm និងទទឹងបន្ទាត់ 10nm ភាពត្រឹមត្រូវនៃទីតាំងតុធ្វើការត្រូវបានទាមទារដើម្បីឈានដល់ 10nm ល្បឿនបោះជំហាន និងស្កេនក្នុងពេលដំណាលគ្នានៃបន្ទះម៉ាស-ស៊ីលីកុនគឺ 150nm/s និង 120nm/s រៀងៗខ្លួន ហើយល្បឿនស្កេនម៉ាសគឺជិត 500nm/s ហើយតុធ្វើការត្រូវបានទាមទារឱ្យមានភាពត្រឹមត្រូវ និងស្ថេរភាពចលនាខ្ពស់ខ្លាំង។
ដ្យាក្រាមគ្រោងការណ៍នៃតុធ្វើការ និងតុចលនាខ្នាតតូច (ផ្នែកដោយផ្នែក)
● កញ្ចក់ការ៉េសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីត។ សមាសធាតុសំខាន់ៗនៅក្នុងឧបករណ៍សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាសំខាន់ៗដូចជាម៉ាស៊ីនលីចូក្រាហ្វីមានរាងស្មុគស្មាញ វិមាត្រស្មុគស្មាញ និងរចនាសម្ព័ន្ធទម្ងន់ស្រាលប្រហោង ដែលធ្វើឱ្យពិបាកក្នុងការរៀបចំសមាសធាតុសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីតបែបនេះ។ បច្ចុប្បន្ននេះ ក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍សៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាអន្តរជាតិសំខាន់ៗ ដូចជា ASML នៅប្រទេសហូឡង់ NIKON និង CANON នៅប្រទេសជប៉ុន ប្រើប្រាស់វត្ថុធាតុដើមមួយចំនួនធំដូចជាកញ្ចក់មីក្រូគ្រីស្តាលីន និង cordierite ដើម្បីរៀបចំកញ្ចក់ការ៉េ ដែលជាសមាសធាតុស្នូលនៃម៉ាស៊ីនលីចូក្រាហ្វី និងប្រើសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីតដើម្បីរៀបចំសមាសធាតុរចនាសម្ព័ន្ធដំណើរការខ្ពស់ផ្សេងទៀតជាមួយនឹងរាងសាមញ្ញ។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ អ្នកជំនាញមកពីវិទ្យាស្ថានស្រាវជ្រាវសម្ភារៈសំណង់ចិនបានប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យារៀបចំដែលមានកម្មសិទ្ធិដើម្បីសម្រេចបាននូវការរៀបចំកញ្ចក់ការ៉េសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាប៊ីតដែលមានទំហំធំ រាងស្មុគស្មាញ ទម្ងន់ស្រាលខ្ពស់ រុំព័ទ្ធយ៉ាងពេញលេញ និងសមាសធាតុអុបទិករចនាសម្ព័ន្ធ និងមុខងារផ្សេងទៀតសម្រាប់ម៉ាស៊ីនលីចូក្រាហ្វី។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ខែតុលា-១០-២០២៤