فيت-تشايناسيراميك كربيد السيليكونالطلاء عبارة عن طبقة واقية عالية الأداء مصنوعة من مادة صلبة للغاية ومقاومة للتآكلكربيد السيليكون (SiC)مادة تتميز بمقاومة ممتازة للتآكل الكيميائي وثبات في درجات الحرارة العالية. هذه الخصائص أساسية في إنتاج أشباه الموصلات، لذاطلاء سيراميك كربيد السيليكونيتم استخدامه على نطاق واسع في المكونات الرئيسية لمعدات تصنيع أشباه الموصلات.
الدور المحدد لشركة Vet-Chinaسيراميك كربيد السيليكونتتم عملية الطلاء في إنتاج أشباه الموصلات على النحو التالي:
تعزيز متانة المعدات:يوفر طلاء سيراميك كربيد السيليكون حماية ممتازة لأسطح معدات تصنيع أشباه الموصلات بفضل صلابته العالية ومقاومته العالية للتآكل. خاصةً في بيئات العمليات عالية الحرارة والتآكل، مثل الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) والنقش البلازمي، يمنع هذا الطلاء بفعالية تلف سطح المعدات نتيجة التآكل الكيميائي أو التآكل المادي، مما يطيل عمرها الافتراضي بشكل كبير ويقلل من فترات التوقف الناتجة عن الاستبدال والإصلاح المتكرر.
تحسين نقاء العملية:في عملية تصنيع أشباه الموصلات، قد تُسبب الشوائب الطفيفة عيوبًا في المنتج. يسمح الخمول الكيميائي لطلاء سيراميك كربيد السيليكون بالحفاظ على ثباته في ظل الظروف القاسية، مما يمنع المادة من إطلاق الجسيمات أو الشوائب، مما يضمن نقاءً بيئيًا للعملية. يُعد هذا مهمًا بشكل خاص لخطوات التصنيع التي تتطلب دقة ونظافة عاليتين، مثل تقنية PECVD وزرع الأيونات.
تحسين الإدارة الحرارية:في عمليات معالجة أشباه الموصلات عالية الحرارة، مثل المعالجة الحرارية السريعة (RTP) وعمليات الأكسدة، تُمكّن الموصلية الحرارية العالية لطلاء سيراميك كربيد السيليكون من توزيع درجة الحرارة بالتساوي داخل المعدات. هذا يُساعد على تقليل الإجهاد الحراري وتشوه المواد الناتج عن تقلبات درجة الحرارة، مما يُحسّن دقة تصنيع المنتج وثباته.
دعم بيئات العمليات المعقدة:في العمليات التي تتطلب التحكم المعقد في الغلاف الجوي، مثل عمليات النقش ICP والنقش PSS، فإن ثبات ومقاومة الأكسدة لطلاء السيراميك من كربيد السيليكون تضمن أن المعدات تحافظ على أداء مستقر في التشغيل على المدى الطويل، مما يقلل من خطر تدهور المواد أو تلف المعدات بسبب التغيرات البيئية.
| أمراض القلب والأوعية الدموية SiCهذا هو السبب في ذلك الخصائص الفيزيائية الأساسية لـ CVD SiCطلاء | |
| 性质 / ملكية | 典型数值 / القيمة النموذجية |
| شكرا جزيلا / البنية البلورية | مرحلة بيتا FCC多晶,主要为(111) 取向 |
| 密度 / كثافة | 3.21 جم/سم³ |
| نعم / الصلابة | 2500 ميكروغرام (حمولة 500 جرام) |
| شكرا جزيلا / حجم الحبوب | 2~10 ميكرومتر |
| نعم / النقاء الكيميائي | 99.99995% |
| 热容 / السعة الحرارية | 640 جول·كجم-1·ك-1 |
| 升华温度 / درجة حرارة التسامي | 2700 درجة مئوية |
| شكرا جزيلا / قوة الانحناء | 415 ميجا باسكال RT 4 نقاط |
| 杨氏模量 /معامل يونغ | 430 جيجا باسكال، انحناء 4 نقاط، 1300 درجة مئوية |
| شكرا جزيلا / ثيرمالالموصلية | 300 واط·متر-1·ك-1 |
| هذا هو الحال / التمدد الحراري (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
نرحب بكم ترحيبا حارا لزيارة مصنعنا، دعونا نجري المزيد من المناقشة!
