طبيب بيطري في الصينسيراميك كربيد السيليكونالطلاء عبارة عن طبقة واقية عالية الأداء مصنوعة من مواد شديدة الصلابة ومقاومة للتآكلكربيد السيليكون (SiC)مادة تتميز بمقاومة ممتازة للتآكل الكيميائي وثبات حراري عالٍ. هذه الخصائص بالغة الأهمية في إنتاج أشباه الموصلات، لذاطلاء سيراميك كربيد السيليكونيستخدم على نطاق واسع في المكونات الرئيسية لمعدات تصنيع أشباه الموصلات.
الدور المحدد لمنظمة Vet-Chinaسيراميك كربيد السيليكونتتم عملية الطلاء في إنتاج أشباه الموصلات على النحو التالي:
تحسين متانة المعدات:يوفر طلاء السيراميك المصنوع من كربيد السيليكون حمايةً ممتازةً لأسطح معدات تصنيع أشباه الموصلات بفضل صلابته العالية للغاية ومقاومته للتآكل. وخاصةً في بيئات العمليات ذات درجات الحرارة العالية والتآكل الشديد، مثل الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) والحفر بالبلازما، يمكن لهذا الطلاء أن يمنع بشكل فعال تلف سطح المعدات الناتج عن التآكل الكيميائي أو التآكل الفيزيائي، مما يطيل عمر المعدات بشكل ملحوظ ويقلل من وقت التوقف الناتج عن الاستبدال والإصلاح المتكرر.
تحسين نقاء العملية:في عملية تصنيع أشباه الموصلات، قد تتسبب الملوثات الطفيفة في عيوب المنتج. تسمح الخمول الكيميائي لطلاء السيراميك من كربيد السيليكون له بالبقاء مستقرًا في ظل الظروف القاسية، مما يمنع المادة من إطلاق جزيئات أو شوائب، وبالتالي يضمن نقاء العملية بيئيًا. وهذا أمر بالغ الأهمية لخطوات التصنيع التي تتطلب دقة عالية ونظافة فائقة، مثل الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما (PECVD) وزرع الأيونات.
تحسين إدارة الحرارة:في عمليات تصنيع أشباه الموصلات ذات درجات الحرارة العالية، مثل المعالجة الحرارية السريعة وعمليات الأكسدة، تُمكّن الموصلية الحرارية العالية لطلاء السيراميك المصنوع من كربيد السيليكون من توزيع متجانس لدرجة الحرارة داخل الجهاز. وهذا يُساعد على تقليل الإجهاد الحراري وتشوه المادة الناتج عن تقلبات درجة الحرارة، مما يُحسّن دقة واتساق تصنيع المنتج.
دعم بيئات العمليات المعقدة:في العمليات التي تتطلب تحكمًا معقدًا في الغلاف الجوي، مثل عمليات الحفر ICP وعمليات الحفر PSS، يضمن استقرار ومقاومة الأكسدة لطلاء السيراميك من كربيد السيليكون أن تحافظ المعدات على أداء مستقر في التشغيل طويل الأمد، مما يقلل من خطر تدهور المواد أو تلف المعدات بسبب التغيرات البيئية.
| أمراض القلب والأوعية الدموية SiCهذا هو السبب في ذلك الخصائص الفيزيائية الأساسية لـ CVD SiCطلاء | |
| 性质 / ملكية | 典型数值 القيمة النموذجية |
| شكرا جزيلا / البنية البلورية | الطور β ذو التركيب المكعب المتمركز على الوجوه多晶,主要为(111) 取向 |
| 密度 / كثافة | 3.21 جم/سم³ |
| نعم الصلابة | 2500 ميكروغرام (حمولة 500 جرام) |
| شكرا جزيلا حجم الحبوب | 2~10 ميكرومتر |
| نعم / النقاء الكيميائي | 99.99995% |
| 热容 / السعة الحرارية | 640 جول/كجم-1·ك-1 |
| 升华温度 درجة حرارة التسامي | 2700 درجة مئوية |
| شكرا جزيلا / قوة الانحناء | 415 ميجا باسكال RT 4-point |
| 杨氏模量 معامل يونغ | انحناء 430 جيجا باسكال، 1300 درجة مئوية |
| شكرا جزيلا / ثيرمالالموصلية | 300 واط/متر-1·ك-1 |
| هذا هو الحال / التمدد الحراري (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
نرحب بكم ترحيباً حاراً لزيارة مصنعنا، فلنتناقش أكثر!
