Порест графитен пръстен с покритие от танталов карбид
Графит, покрит с порест танталов карбид (TaC)е ключов материал, разработен специално за високотемпературни, силно корозивни среди в производството на полупроводници. Неговият субстрат е високочист изостатичен графит, покрит с равномерно поресто танталов карбидно покритие, нанесено чрез химическо отлагане от пари (CVD). TaC има изключително висока твърдост (9-10 по скалата на Моос) и точка на топене от 3880°C. В комбинация с отличната термична стабилност и леките свойства на графита, този материал съчетава високотемпературна якост с устойчивост на химическо въздействие и термичен шок, което го прави идеален избор за полупроводниково технологично оборудване, работещо при екстремни условия.
Предимства на порестия танталов карбид графит:
1. Ултрависока устойчивост на корозия
-TaC е химически инертен, ефективно устои на корозия от халогени като флуор и хлор, което значително удължава живота на оборудването.
-Порестата структура увеличава повърхността на покритието, образувайки по-здрава защитна бариера и намалявайки риска от отделяне на частици.
2. Отлична стабилност при високи температури
-С точка на топене, приближаваща 4000°C, той може да работи продължително време във вакуум или инертна атмосфера, надвишаваща 2500°C.
- Коефициентът на термично разширение на покритието е силно съобразен с този на графита, предотвратявайки напукване и разслояване, причинени от термично циклиране.
3. Висока чистота и ниско замърсяване
-Използвайки суровини и процеси с полупроводников клас, съдържанието на метални примеси е изключително ниско, което значително намалява риска от замърсяване на пластините.
-Повърхността е плътна и химически стабилна, което намалява образуването на частици и отговаря на строгите стандарти за чисти помещения.
4. Дизайн по поръчка
Сложни форми могат да бъдат произведени по чертежи на клиента, а порьозността и дебелината на покритието могат да бъдат контролирани, за да се постигне оптимален газов поток и топлопроводимост.
5. Дълъг живот и ниски разходи за поддръжка
Изключително високата устойчивост на корозия и износване на порестите TaC покрития увеличава живота на компонентите с 3-5 пъти в сравнение с традиционния графит, намалявайки честотата на подмяна и разходите за поддръжка.
Основни приложения
1. Основни компоненти за производство на пластини
- Облицовки, прегради и душове за реакционни камери за CVD/ALD оборудване
- PVD опори за мишени
- Компоненти за високотемпературни процеси за дифузия, окисление, отгряване и други процеси
2. Системи за химическо отлагане от пари
- Защита на ключови компоненти в силно корозивни среди (като флуориди и хлориди) по време на процеса
3. Други корозивни среди с висока температура
- Подходящ за химическо пречистване на газове, специализирани пещи за термична обработка и други приложения.
VET Energy е професионален производител, фокусиран върху научноизследователската и развойна дейност и производството на висококачествени съвременни материали като графит, силициев карбид, кварц, както и върху обработката на материалите, като SiC покритие, TaC покритие, стъкловидно въглеродно покритие, пиролитично въглеродно покритие и др. Продуктите се използват широко във фотоволтаиката, полупроводниците, новата енергетика, металургията и др.
Нашият технически екип идва от водещи местни изследователски институции и може да ви предостави по-професионални решения за материали.
Предимствата на VET Energy включват:
• Собствена фабрика и професионална лаборатория;
• Водещи в индустрията нива на чистота и качество;
• Конкурентна цена и бърза доставка;
• Множество индустриални партньорства по целия свят;
Каним ви да посетите нашата фабрика и лаборатория по всяко време!
