Porozni grafitni prsten obložen tantal karbidom
Porozni grafit obložen tantal karbidom (TaC)je ključni materijal razvijen posebno za visokotemperaturne, visoko korozivne okoline u proizvodnji poluprovodnika. Njegova podloga je izostatički grafit visoke čistoće, premazan jednoliko poroznim premazom tantal karbida korištenjem hemijskog taloženja iz pare (CVD). TaC ima izuzetno visoku tvrdoću (9-10 na Mohsovoj skali) i tačku topljenja od 3880°C. U kombinaciji s odličnom termičkom stabilnošću i laganim svojstvima grafita, ovaj materijal kombinira čvrstoću na visokim temperaturama s otpornošću na hemijske napade i termički udar, što ga čini idealnim izborom za opremu za poluprovodničke procese koja radi u ekstremnim uslovima.
Prednosti poroznog tantal karbidnog grafita:
1. Ultra visoka otpornost na koroziju
-TaC je hemijski inertan, efikasno se odupire koroziji uzrokovanoj halogenima poput fluora i hlora, značajno produžavajući vijek trajanja opreme.
-Porozna struktura povećava površinu premaza, formirajući robusniju zaštitnu barijeru i smanjujući rizik od rasipanja čestica.
2. Odlična stabilnost na visokim temperaturama
-S tačkom topljenja koja se približava 4000°C, može raditi duži period u vakuumu ili inertnoj atmosferi koja prelazi 2500°C.
-Koeficijent termičkog širenja premaza je u velikoj mjeri usklađen s koeficijentom grafita, što sprječava pucanje i raslojavanje uzrokovano termičkim cikliranjem.
3. Visoka čistoća i niska kontaminacija
- Korištenjem sirovina i procesa poluprovodničkog kvaliteta, sadržaj metalnih nečistoća je izuzetno nizak, što značajno smanjuje rizik od kontaminacije pločice.
-Površina je gusta i hemijski stabilna, što smanjuje stvaranje čestica i ispunjava stroge standarde čistih soba.
4. Dizajn po narudžbi
Složeni oblici mogu se proizvesti prema crtežima kupaca, a poroznost i debljina premaza mogu se kontrolirati kako bi se postigao optimalni protok plina i toplinska provodljivost.
5. Dug vijek trajanja i niski troškovi održavanja
Izuzetno visoka otpornost na koroziju i habanje poroznih TaC premaza povećava vijek trajanja komponenti za 3-5 puta u poređenju s tradicionalnim grafitom, smanjujući učestalost zamjene i troškove održavanja.
Glavne primjene
1. Osnovne komponente za proizvodnju pločica
- Obloge reakcijske komore, pregrade i tuš za CVD/ALD opremu
- Nosači PVD meta
- Komponente za visokotemperaturne procese za difuziju, oksidaciju, žarenje i druge procese
2. Sistemi za hemijsko taloženje iz pare
- Zaštita ključnih komponenti u visoko korozivnim okruženjima (kao što su fluoridi i hloridi) tokom procesa
3. Druga korozivna okruženja na visokim temperaturama
- Pogodno za hemijsko prečišćavanje gasova, specijalizovane peći za termičku obradu i druge primjene.
VET Energy je profesionalni proizvođač fokusiran na istraživanje i razvoj i proizvodnju vrhunskih naprednih materijala kao što su grafit, silicijum karbid, kvarc, kao i na obradu materijala poput SiC premaza, TaC premaza, premaza od staklastog ugljika, pirolitičkog ugljičnog premaza itd. Proizvodi se široko koriste u fotonaponskim sistemima, poluprovodnicima, novoj energiji, metalurgiji itd.
Naš tehnički tim dolazi iz vodećih domaćih istraživačkih institucija i može vam pružiti profesionalnija materijalna rješenja.
Prednosti VET Energy uključuju:
• Vlastita tvornica i profesionalni laboratorij;
• Vodeći nivoi čistoće i kvaliteta u industriji;
• Konkurentna cijena i brza isporuka;
• Višestruka industrijska partnerstva širom svijeta;
Pozivamo vas da posjetite našu fabriku i laboratoriju u bilo koje vrijeme!
