پشتیبانی ویفر گرافیتی PECVD

پایه ویفر گرافیتی فرآیند PECVD شرکت VET Energy یک ماده مصرفی هسته است که برای فرآیند PECVD (رسوب بخار شیمیایی با پلاسما) طراحی شده است. این محصول از مواد گرافیتی با خلوص بالا و چگالی بالا ساخته شده است که با مقاومت عالی در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، پایداری ابعادی و سایر ویژگی‌ها، می‌تواند یک بستر پشتیبانی پایدار برای فرآیند PECVD فراهم کند تا یکنواختی و صافی رسوب فیلم را تضمین کند.

طراحی "پشتیبانی گرافیتی" پایه ویفر گرافیتی VET Energy نه تنها می‌تواند به طور مؤثر از ویفر پشتیبانی کند، بلکه پایداری حرارتی را در محیط PECVD با دما و فشار بالا نیز فراهم می‌کند تا پایداری فرآیند را تضمین کند.

پایه ویفر گرافیتی فرآیند PECVD شرکت VET Energy دارای ویژگی‌های زیر است:

▪خلوص بالا:محتوای ناخالصی بسیار کم، جلوگیری از آلودگی فیلم، برای اطمینان از کیفیت فیلم.

▪چگالی بالا:چگالی بالا، استحکام مکانیکی بالا، می‌تواند در برابر دمای بالا و فشار بالای محیط PECVD مقاومت کند.

▪پایداری ابعادی خوب:تغییرات ابعادی کوچک در دمای بالا برای اطمینان از پایداری فرآیند.

▪رسانایی حرارتی عالی:به طور موثر گرما را منتقل می‌کند تا از گرم شدن بیش از حد ویفر جلوگیری شود.

▪مقاومت قوی در برابر خوردگی:قادر به مقاومت در برابر فرسایش توسط گازهای خورنده مختلف و پلاسما.

▪خدمات سفارشی:میزهای نگهدارنده گرافیتی در اندازه‌ها و شکل‌های مختلف می‌توانند با توجه به نیاز مشتری سفارشی‌سازی شوند.