حامل گرافیت برای فرآیند PECVD

حامل‌های گرافیتی برای فرآیند PECVD دارای ویژگی‌های زیر هستند:

▪ خلوص بالا: میزان ناخالصی بسیار کم، جلوگیری از آلودگی فیلم و تضمین کیفیت فیلم.

▪ چگالی بالا: چگالی بالا، مقاومت مکانیکی بالا، قادر به تحمل دمای بالا و فشار بالای محیط PECVD.

▪ پایداری ابعادی خوب: تغییر ابعادی کوچک در دمای بالا، تضمین پایداری فرآیند.

▪ رسانایی حرارتی عالی: گرما را به طور موثر منتقل کنید تا از گرم شدن بیش از حد ویفر جلوگیری شود.

▪ مقاومت قوی در برابر خوردگی: قادر به مقاومت در برابر فرسایش توسط گازهای خورنده مختلف و پلاسما.

▪ خدمات سفارشی: حامل‌های گرافیتی با اندازه‌ها و شکل‌های مختلف می‌توانند با توجه به نیاز مشتری سفارشی‌سازی شوند.