Support de plaquettes de graphite PECVD

Image en vedette du support de plaquette de graphite PECVD

Brève description :

Conçu pour la précision et la performance, le support de plaquettes en graphite de VET Energy est le matériau idéal pour le traitement avancé des plaquettes, où une stabilité thermique élevée et des performances constantes sont essentielles. Que vous travailliez avec des plaquettes de semi-conducteurs ou d'autres substrats délicats, ce support en graphite de haute qualité améliorera la fiabilité de vos processus et la qualité de vos produits, ce qui en fait un composant indispensable de la fabrication moderne.

Envoyez-nous un e-mail Télécharger en PDF

Détails du produit

Étiquettes de produit

Le support de plaquette en graphite pour procédé PECVD de VET Energy est un consommable essentiel conçu pour le procédé PECVD (dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma). Fabriqué en graphite haute pureté et haute densité, il présente d'excellentes caractéristiques de résistance aux températures élevées, de résistance à la corrosion et de stabilité dimensionnelle, entre autres. Il constitue une plateforme de support stable pour le procédé PECVD et garantit l'uniformité et la planéité du dépôt de film.

La conception du « support en graphite » du support de plaquette en graphite VET Energy peut non seulement soutenir efficacement la plaquette, mais également assurer la stabilité thermique dans l'environnement PECVD à haute température et haute pression pour assurer la stabilité du processus.

Le support de plaquette en graphite du procédé PECVD de VET Energy présente les caractéristiques suivantes :

▪Haute pureté :teneur en impuretés extrêmement faible, évite la contamination du film, pour assurer la qualité du film.

▪Haute densité :haute densité, haute résistance mécanique, peut résister à un environnement PECVD à haute température et haute pression.

▪Bonne stabilité dimensionnelle :de petites variations dimensionnelles à haute température pour assurer la stabilité du procédé.

▪Excellente conductivité thermique :transférer efficacement la chaleur pour éviter la surchauffe des plaquettes.

▪Forte résistance à la corrosion :Capable de résister à l'érosion par divers gaz corrosifs et plasma.

▪Service personnalisé :Les tables de support en graphite de différentes tailles et formes peuvent être personnalisées selon les besoins du client.

Matériau graphite de SGL :

Paramètre typique : R6510
Indice	Norme de test	Valeur	Unité
granulométrie moyenne	ISO 13320	10	μm
Densité apparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosité ouverte	DIN66133	10	%
Pores de taille moyenne	DIN66133	1.8	μm
Perméabilité	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureté Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Résistivité électrique spécifique	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Résistance à la flexion	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Résistance à la compression	DIN 51910	130	MPa
module de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Dilatation thermique (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Conductivité thermique (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Il est spécialement conçu pour la fabrication de cellules solaires à haut rendement, prenant en charge le traitement des plaquettes G12 de grande taille. La conception optimisée du support augmente considérablement le rendement, permettant des rendements plus élevés et des coûts de production réduits.

Article	Taper	Numéro de support de plaquette
Bateau PEVCD Grephite - La série 156	156-13 bateau en gréphite	144
	156-19 bateau en gréphite	216
	156-21 bateau en gréphite	240
	Bateau en graphite 156-23	308
Bateau PEVCD Grephite - La série 125	Bateau en gréphite 125-15	196
	Bateau grephite 125-19	252
	Bateau en graphite 125-21	280