Support en graphite pour le procédé PECVD

Brève description :

VET ÉnergieLa nacelle en graphite PECVD pour panneaux solaires est un composant avancé conçu spécifiquement pour la production de panneaux solaires haute performance. Utilisée dans les procédés de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD), cette nacelle en graphite assure une manutention optimale des matériaux et un dépôt uniforme des couches minces sur les cellules solaires. Conçue pour la précision et la durabilité, elle offre une conductivité thermique supérieure, une résistance élevée à la corrosion et une contamination minimale, essentielles à la production de panneaux solaires performants et de haute qualité.

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Détails du produit

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VET ÉnergieLe support en graphite pour le procédé PECVD est un consommable de haute qualité, spécialement conçu pour le procédé PECVD (dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma). Fabriqué en graphite de haute pureté et haute densité, il présente d'excellentes caractéristiques de résistance aux températures élevées, de résistance à la corrosion et de stabilité dimensionnelle. Il constitue une plateforme stable pour le procédé PECVD et garantit l'uniformité et la planéité du dépôt de couches minces.

Les supports en graphite pour le procédé PECVD présentent les caractéristiques suivantes :

▪ Haute pureté : teneur en impuretés extrêmement faible, évitant la contamination du film et garantissant la qualité du film.

▪ Haute densité : haute densité, haute résistance mécanique, capable de résister à un environnement PECVD à haute température et haute pression.

▪ Bonne stabilité dimensionnelle : faible variation dimensionnelle à haute température, assurant la stabilité du processus.

▪ Excellente conductivité thermique : transfère efficacement la chaleur pour éviter la surchauffe des plaquettes.

▪ Forte résistance à la corrosion : capable de résister à l'érosion par divers gaz corrosifs et plasma.

▪ Service personnalisé : les supports en graphite de différentes tailles et formes peuvent être personnalisés selon les besoins du client.

Matériau graphite de SGL :

Paramètre typique : R6510
Indice	Norme de test	Valeur	Unité
granulométrie moyenne	ISO 13320	10	μm
Densité apparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosité ouverte	DIN66133	10	%
Pores de taille moyenne	DIN66133	1.8	μm
Perméabilité	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureté Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Résistivité électrique spécifique	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Résistance à la flexion	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Résistance à la compression	DIN 51910	130	MPa
module de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Dilatation thermique (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Conductivité thermique (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Il est spécialement conçu pour la fabrication de cellules solaires à haut rendement, prenant en charge le traitement des plaquettes G12 de grande taille. La conception optimisée du support augmente considérablement le rendement, permettant des rendements plus élevés et des coûts de production réduits.

Article	Taper	Numéro de support de plaquette
Bateau PEVCD Grephite - La série 156	156-13 bateau en gréphite	144
	156-19 bateau en gréphite	216
	156-21 bateau en gréphite	240
	Bateau en graphite 156-23	308
Bateau PEVCD Grephite - La série 125	Bateau en gréphite 125-15	196
	Bateau grephite 125-19	252
	Bateau en graphite 125-21	280