Bato wafer Quartzse yon zouti transpò kle nan fabrikasyon semi-kondiktè, pwodiksyon selil fotovoltaik ak rechèch ak devlopman materyèl avanse, ki fèt pou transfè ak pozisyonman wafer ki estab nan pwosesis tanperati ki wo. Pwodui sa a fèt ak silica fizyon (SiO2) ultra-wo pite, ak ekselan rezistans tanperati, estabilite chimik ak karakteristik kontaminasyon metal ultra-ba, apwopriye pou founo difizyon, founo oksidasyon, PECVD/LPCVD ak lòt ekipman, lajman itilize nan kouch wafer, enplantasyon iyon, rekwi tanperati ki wo ak lòt pwosesis debaz.
Avantaj prensipal bato kwatz VET Energy a:
- Materyèl ultra-pite
Pite ≥99.99%: Kontni enpurte (Na, K, Fe, elatriye) <5ppm, evite kontaminasyon wafer epi garanti sede chip.
Presipitasyon ak adsorption ki ba: sifas la super-poli (Ra≤0.4μm) pou diminye adezyon patikil ak rezidi gaz. - Estabilite tanperati ki wo
Limit tanperati: Tanperati k ap travay alontèm 1100 ℃, pik kout tèm 1300 ℃, pa gen defòmasyon, pa gen presipitasyon kristal.
Koyefisyan ekspansyon tèmik ki ba (5.5x10-7/℃), ekselan rezistans chòk tèmik, adaptab a pwosesis ogmantasyon ak diminisyon tanperati rapid (pa egzanp, RTP rapid annealing). - Konsepsyon estriktirèl presi
Presizyon fant ± 0.1mm: matche ak waflè 2 "a 12", erè inifòmite espasman <0.05mm, asire waflè yo pa gen okenn konpansasyon.
Kapasite chaj ki wo: Chaj maksimòm 50 waf (an tèm de waf 12") nan yon sèl bato, pou sipòte transfè ki estab nan waf mens (≥100um). - Inètite chimik
Rezistans korozyon: Rezistan a asid (eksepte HF), alkali ak korozyon sòlvan òganik, konpatib ak pwosesis netwayaj CMP.
Ekselan etancheite gaz: To flit <5x10-10 Pa.m3/s, apwopriye pou anviwònman vid ak gaz pwoteksyon. - Long lavi ak antretyen
Esperans lavi ≥ 5000 sik (kondisyon travay nòmal), sifas la ka netwaye epi itilize plizyè fwa, sa ki diminye pri jeneral la.
Konsepsyon modilè: sipòte ranplasman pasyèl (pa egzanp, yon sèl dan bato), sa ki diminye tan pann.
Nou ofri sifas transparan ak sifas glase selon bezwen kliyan yo:
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd se yon antrepriz gwo teknoloji ki konsantre sou pwodiksyon ak lavant materyèl avanse wo nivo. Materyèl ak teknoloji tankou grafit, carbure Silisyòm, seramik, tretman sifas tankou kouch SiC, kouch TaC, kouch kabòn vitrifye, kouch kabòn pirolitik, elatriye. Pwodui sa yo lajman itilize nan fotovoltaik, semi-kondiktè, nouvo enèji, metaliji, elatriye.
Ekip teknik nou an soti nan pi gwo enstitisyon rechèch domestik yo, epi yo devlope plizyè teknoloji patante pou asire pèfòmans ak kalite pwodwi, epi yo kapab tou bay kliyan yo solisyon materyèl pwofesyonèl.
