Sipò waf grafit PECVD

Deskripsyon kout:

Fèt pou presizyon ak pèfòmans, Sipò Graphite Wafer VET Energy a se materyèl ideyal pou itilize nan pwosesis wafer avanse, kote estabilite tèmik ki wo ak pèfòmans konsistan enpòtan anpil. Kit w ap travay avèk wafer semi-kondiktè oswa lòt substrats delika, sipò grafit kalite siperyè sa a pral amelyore fyab pwosesis ou ak kalite pwodwi ou, sa ki fè li yon eleman endispansab pou fabrikasyon modèn.

Voye yon imèl ban nou Telechaje kòm PDF

Detay pwodwi

Etikèt pwodwi yo

Sipò waf grafit VET Energy pou pwosesis PECVD a se yon konsomab prensipal ki fèt pou pwosesis PECVD (depozisyon vapè chimik amelyore pa plasma). Pwodui sa a fèt ak yon materyèl grafit ki gen gwo pite ak gwo dansite, li gen ekselan rezistans tanperati ki wo, rezistans korozyon, estabilite dimansyonèl ak lòt karakteristik, li ka bay yon platfòm sipò ki estab pou pwosesis PECVD a, pou asire inifòmite ak platè depozisyon fim nan.

Konsepsyon "sipò grafit" sipò waf grafit VET Energy a pa sèlman ka sipòte waf la efektivman, men tou, li bay estabilite tèmik nan anviwònman PECVD ki gen gwo tanperati ak gwo presyon pou asire estabilite pwosesis la.

Sipò waf grafit pwosesis PECVD VET Energy a gen karakteristik sa yo:

▪Segondè pite:Kontni enpurte ki ba anpil, evite kontaminasyon fim nan, pou asire bon jan kalite fim nan.

▪Dansite segondè:dansite segondè, gwo fòs mekanik, ka reziste tanperati ki wo ak anviwònman PECVD ki wo presyon.

▪Bon estabilite dimansyonèl:Ti chanjman dimansyonèl nan tanperati ki wo pou asire estabilite pwosesis la.

▪Ekselan konduktivite tèmik:transfere chalè efektivman pou anpeche wafer la chofe twòp.

▪Bon rezistans kont korozyon:Kapab reziste ewozyon pa divès gaz koroziv ak plasma.

▪Sèvis pèsonalize:Tab sipò grafit ki gen diferan gwosè ak fòm ka Customized selon bezwen kliyan yo.

Materyèl grafit ki soti nan SGL:

Paramèt tipik: R6510
Endèks	Estanda tès	Valè	Inite
Gwosè grenn mwayèn	ISO 13320	10	μm
Dansite an mas	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm3³
Porosite ouvè	DIN66133	10	%
Gwosè pò mwayen	DIN66133	1.8	μm
Pèmeabilite	DIN 51935	0.06	cm²/s
Dite Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Rezistans elektrik espesifik	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Fòs fleksyon	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Fòs konpresiv	DIN 51910	130	MPa
Modil Young lan	DIN 51915	11.5 × 10³	MPa
Ekspansyon tèmik (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduktivite tèmik (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Li fèt espesyalman pou fabrikasyon selil solè ki gen gwo efikasite, pou sipòte pwosesis gwo plak G12 yo. Konsepsyon transpòtè optimize a ogmante anpil debi a, sa ki pèmèt pi gwo pousantaj sede ak pi ba pri pwodiksyon.

Atik	Kalite	Nimewo transpòtè wafer
Bato PEVCD Grephite - Seri 156 la	156-13 bato grefit	144
	156-19 bato grefit	216
	156-21 bato grefit	240
	Bato grafit 156-23	308
Bato PEVCD Grephite - Seri 125 la	Bato grefit 125-15	196
	Bato grefit 125-19	252
	Bato grafit 125-21	280