Sipò grafit pou pwosesis PECVD

Deskripsyon kout:

Enèji VETBato grafit PECVD pou panèl solè se yon konpozan avanse ki fèt espesyalman pou pwodiksyon panèl solè ki gen gwo pèfòmans. Itilize nan pwosesis Depozisyon Vapè Chimik Amelyore pa Plasma (PECVD), bato grafit sa a asire yon manyen materyèl optimal ak yon depo inifòm fim mens sou selil solè yo. Fèt pou presizyon ak rezistans, li bay yon konduktivite tèmik siperyè, yon gwo rezistans korozyon, ak yon kontaminasyon minimòm, ki esansyèl pou pwodiksyon panèl solè efikas ak kalite siperyè.

Voye yon imèl ban nou Telechaje kòm PDF

Detay pwodwi

Etikèt pwodwi yo

Enèji VETSipò grafit pou pwosesis PECVD a se yon konsomab kalite siperyè ki fèt espesyalman pou pwosesis PECVD (depozisyon vapè chimik amelyore pa plasma). Sipò grafit sa a fèt ak yon materyèl grafit ki gen gwo pite ak gwo dansite, li gen ekselan rezistans tanperati ki wo, rezistans korozyon, estabilite dimansyonèl ak lòt karakteristik, li ka bay yon platfòm sipò ki estab pou pwosesis PECVD a, pou asire inifòmite ak platè depozisyon fim mens lan.

Sipò grafit pou pwosesis PECVD yo gen karakteristik sa yo:

▪ Pite ki wo: kontni enpurte ki ba anpil, evite kontaminasyon fim nan epi asire bon jan kalite fim nan.

▪ Dansite segondè: dansite segondè, gwo fòs mekanik, kapab reziste tanperati ki wo ak anviwònman PECVD ki wo presyon.

▪ Bon estabilite dimansyonèl: ti chanjman dimansyonèl nan tanperati ki wo, sa ki asire estabilite pwosesis la.

▪ Ekselan konduktivite tèmik: transfere chalè efektivman pou anpeche waf la chofe twòp.

▪ Bon rezistans kont korozyon: kapab reziste ewozyon pa divès gaz koroziv ak plasma.

▪ Sèvis pèsonalize: Yo ka pèsonalize sipò grafit ki gen diferan gwosè ak fòm selon bezwen kliyan yo.

Materyèl grafit ki soti nan SGL:

Paramèt tipik: R6510
Endèks	Estanda tès	Valè	Inite
Gwosè grenn mwayèn	ISO 13320	10	μm
Dansite an mas	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm3³
Porosite ouvè	DIN66133	10	%
Gwosè pò mwayen	DIN66133	1.8	μm
Pèmeabilite	DIN 51935	0.06	cm²/s
Dite Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Rezistans elektrik espesifik	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Fòs fleksyon	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Fòs konpresiv	DIN 51910	130	MPa
Modil Young lan	DIN 51915	11.5 × 10³	MPa
Ekspansyon tèmik (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduktivite tèmik (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Li fèt espesyalman pou fabrikasyon selil solè ki gen gwo efikasite, pou sipòte pwosesis gwo plak G12 yo. Konsepsyon transpòtè optimize a ogmante anpil debi a, sa ki pèmèt pi gwo pousantaj sede ak pi ba pri pwodiksyon.

Atik	Kalite	Nimewo transpòtè wafer
Bato PEVCD Grephite - Seri 156 la	156-13 bato grefit	144
	156-19 bato grefit	216
	156-21 bato grefit	240
	Bato grafit 156-23	308
Bato PEVCD Grephite - Seri 125 la	Bato grefit 125-15	196
	Bato grefit 125-19	252
	Bato grafit 125-21	280