シリコンカーバイドセラミックコーティングヒーター

獣医-中国炭化ケイ素セラミックコーティングは、非常に硬く耐摩耗性に優れた高性能保護コーティングです。炭化ケイ素（SiC）優れた耐薬品性と高温安定性を備えた材料です。これらの特性は半導体製造において極めて重要であるため、シリコンカーバイドセラミックコーティング半導体製造装置の主要部品に広く使用されています。

Vet-Chinaの具体的な役割炭化ケイ素セラミック半導体製造におけるコーティングは以下の通りです。

装備の耐久性を強化:シリコンカーバイドセラミックコーティング シリコンカーバイドセラミックコーティングは、極めて高い硬度と耐摩耗性を備え、半導体製造装置に優れた表面保護を提供します。特に、化学蒸着（CVD）やプラズマエッチングなどの高温・高腐食性のプロセス環境において、このコーティングは装置表面の化学的侵食や物理的摩耗による損傷を効果的に防止し、装置の耐用年数を大幅に延長し、頻繁な交換や修理によるダウンタイムを削減します。

プロセスの純度を向上:半導体製造プロセスでは、微細な汚染物質が製品欠陥の原因となる可能性があります。シリコンカーバイドセラミックコーティングは化学的に不活性であるため、過酷な条件下でも安定した状態を保ち、粒子や不純物の放出を防ぎ、プロセスの環境純度を確保します。これは、PECVDやイオン注入など、高精度と高清浄度が求められる製造工程において特に重要です。

熱管理を最適化:急速熱処理（RTP）や酸化プロセスなどの高温半導体プロセスにおいて、シリコンカーバイドセラミックコーティングの高い熱伝導性は、装置内の温度分布を均一にします。これにより、温度変動による熱応力や材料変形が軽減され、製品の製造精度と安定性が向上します。

複雑なプロセス環境をサポート:ICPエッチングやPSSエッチングプロセスなど、複雑な雰囲気制御を必要とするプロセスでは、シリコンカーバイドセラミックコーティングの安定性と耐酸化性により、機器が長期運転で安定した性能を維持できることが保証され、環境変化による材料の劣化や機器の損傷のリスクが軽減されます。