Epitaksinis epitaksinis grafito statinės susceptorius

Epitaksinis epitaksinis grafito statinės susceptorius

Epitaksinis epitaksinis grafito statinės susceptoriusyra specialiai sukurtas atramos ir šildymo įtaisas, naudojamas puslaidininkiniams substratams laikyti ir šildyti gamybos procesų, tokių kaip nusodinimas ar epitaksija, metu.

Jo struktūra paprastai būna cilindro arba šiek tiek statinės formos, paviršiuje yra daug kišenių arba platformų plokštelėms įdėti, jis gali būti vientisas arba tuščiaviduris, priklausomai nuo kaitinimo būdo.

Pagrindinės epitaksinio cilindrinio susceptoriaus funkcijos:

1. Vaflinis laikiklis ir temperatūros kontrolė
Susceptoriaus paviršius suprojektuotas su keliomis plokštelės kišenėmis (pvz., šešiakampiu arba aštuonkampiu išdėstymu), kurios vienu metu gali palaikyti 6–15 plokštelių. Didelis grynumo grafito šilumos laidumas (120–150 W/mK) užtikrina greitą šilumos perdavimą, o sukimosi funkcija (5–20 aps./min.) lemia mažesnį plokštelės paviršiaus temperatūros nuokrypį nei ± 1 ℃, o epitaksinio sluoksnio storio vienodumą – mažiau nei 1 %.

2. Reagento dujų srauto krypties optimizavimas
Susceptoriaus paviršiaus mikrostruktūra gali panaikinti ribinio sluoksnio efektą, todėl reakcijos dujos (pvz., SiH4, NH3) pasiskirsto tolygiai ir pagerėja nusodinimo greičio pastovumas.

3. Apsauga nuo taršos ir korozijos
Grafito substratai yra linkę skilti ir aukštoje temperatūroje išskiria metalo priemaišas (pvz., Fe, Ni), o 100 μm storio CVD SiC danga gali sudaryti tankų barjerą, slopinantį grafito lakumą, todėl plokštelių defektų dažnis yra <0,1 defekto/cm².

Paraiškos:
-Pirmiausia naudojamas silicio epitaksiniam augimui
-Taip pat tinka kitų puslaidininkinių medžiagų, tokių kaip GaAs, InP ir kt., epitaksijai.

„VET Energy“ naudoja didelio grynumo grafitą su CVD-SiC danga, kad padidintų cheminį stabilumą:

1. Didelio grynumo grafito medžiaga
Didelis šilumos laidumas: grafito šilumos laidumas yra tris kartus didesnis nei silicio, todėl šiluma gali greitai būti perduota iš šildymo šaltinio į plokštelę ir sutrumpėti kaitinimo laikas.
Mechaninis stiprumas: izostatinio slėgio grafito tankis ≥ 1,85 g/cm³, galintis atlaikyti aukštą temperatūrą virš 1200 ℃ be deformacijos.

2. CVD SiC danga
Cheminio garų nusodinimo (CVD) būdu grafito paviršiuje susidaro β-SiC sluoksnis, kurio grynumas ≥ 99,99995%, dangos storio vienodumo paklaida mažesnė nei ±5%, o paviršiaus šiurkštumas mažesnis nei Ra0,5µm.

3. Našumo gerinimas:
Atsparumas korozijai: gali atlaikyti stiprias korozines dujas, tokias kaip Cl2, HCl ir kt., gali tris kartus pailginti GaN epitaksijos tarnavimo laiką NH3 aplinkoje.
Terminis stabilumas: Šiluminio plėtimosi koeficientas (4,5 × 10-6/℃) atitinka grafitą, kad būtų išvengta dangos įtrūkimų dėl temperatūros svyravimų.
Kietumas ir atsparumas dilimui: Vickerso kietumas siekia 28 GPa, tai yra 10 kartų didesnis nei grafito ir gali sumažinti plokštelių įbrėžimų riziką.