SiC премаз/обложен графитен подлога/послужавник за полупроводници

SiC премаз/обложена графитна подлога/послужавник за полупроводнички Претставена слика

Краток опис:

VET Energy SiC обложен графитен сусцептор за епитаксијален раст е високо-перформансен производ дизајниран да обезбеди конзистентни и сигурни перформанси во подолг временски период. Има супер добра отпорност на топлина и термичка униформност, висока чистота, отпорност на ерозија, што го прави совршено решение за апликации за обработка на плочки.

Испратете ни е-пошта Преземи како PDF

Детали за производот

Ознаки на производи

SiC облога/облога на графитен сусцептор за полупроводници

НаSiC обложена графитна подлогае високо издржливо и ефикасно решение дизајнирано да ги задоволи ригорозните барања на индустријата за обработка на полупроводници. Одликувајќи се со слој од висока чистотаоблога од силициум карбид (SiC), оваа подлога обезбедува исклучителна термичка стабилност, отпорност на оксидација и продолжен век на траење, што ја прави идеална за апликации во MOCVD процеси, носачи на графитни плочки и други средини со висока температура.

Карактеристики:
· Одлична отпорност на термички шокови
· Одлична отпорност на физички удари
· Одлична хемиска отпорност
· Супер висока чистота
· Достапност во комплексен облик
· Може да се користи во оксидирачка атмосфера

Апликација:

Карактеристики и предности на производот:

1. Супериорен термички отпор:Со висока чистотаSiC облога, подлогата издржува екстремни температури, обезбедувајќи конзистентни перформанси во тешки услови како што се епитаксија и производство на полупроводници.

2. Зголемена издржливост:Графитните компоненти обложени со SiC се дизајнирани да бидат отпорни на хемиска корозија и оксидација, зголемувајќи го животниот век на подлогата во споредба со стандардните графитни подлоги.

3. Графит обложен со стаклесто тело:Уникатната стаклеста структура наSiC облогаобезбедува одлична површинска цврстина, минимизирајќи го абењето за време на обработка на високи температури.

4. SiC премаз со висока чистота:Нашата подлога обезбедува минимална контаминација во чувствителните полупроводнички процеси, нудејќи сигурност за индустриите кои бараат строга чистота на материјалот.

5. Широка пазарна примена:НаГрафитен сусцептор обложен со SiCПазарот продолжува да расте како што се зголемува побарувачката за напредни производи обложени со SiC во производството на полупроводници, позиционирајќи го овој супстрат како клучен играч и на пазарот на носачи на графитни плочки и на пазарот на графитни послужавници обложени со силициум карбид.

Типични својства на основниот графитен материјал:

Привидна густина:	1,85 g/cm3
Електричен отпор:	11 μΩm
Свиткување на јачина:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Тврдост на брегот:	58
Пепел:	<5 ppm
Топлинска спроводливост:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

КВБ SiC薄膜基本物理性能 Основни физички својства на CVD SiCоблога
性质 / Сопственост	典型数值 / Типична вредност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза 多晶，主要为（111）取向
密度 / Густина	3,21 g/cm³
硬度 / Цврстина	2500 维氏硬度 (500 g оптоварување)
晶粒大小 / Grain SiZe	2~10μm
纯度 / Хемиска чистота	99,99995%
热容 / Топлински капацитет	640 J·kg^-1·К^-1
升华温度 / Температура на сублимација	2700℃
抗弯强度 / Флексурална сила	415 MPa RT 4-точка
杨氏模量 / Модул на Јанг	430 Gpa 4pt свиткување, 1300℃
导热系数 / Топлинска спроводливост	300W·m^-1·К^-1
热膨胀系数 / Термичка експанзија (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy е вистински производител на производи од графит и силициум карбид по нарачка со различни премази како што се SiC премази, TaC премази, стаклен јаглерод, пиролитички јаглеродни премази итн., и може да испорача разни делови по нарачка за полупроводничка и фотоволтаична индустрија.

Нашиот технички тим доаѓа од врвни домашни истражувачки институции, може да ви обезбеди попрофесионални материјални решенија.

Постојано развиваме напредни процеси за да обезбедиме понапредни материјали и развивме ексклузивна патентирана технологија, која може да го направи поврзувањето помеѓу премазот и подлогата поцврсто и помалку подложно на одлепување.

Топло ве поздравуваме да ја посетите нашата фабрика, ајде да разговараме понатаму!