Grafietdrager voor PECVD-proces

Korte beschrijving:

VET EnergieDe PECVD Graphite Boat voor zonnepanelen is een geavanceerd onderdeel dat speciaal is ontworpen voor de productie van hoogwaardige zonnepanelen. Deze grafietboot wordt gebruikt in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)-processen en garandeert optimale materiaalbehandeling en een uniforme afzetting van dunne films op zonnecellen. Ontworpen voor precisie en duurzaamheid, biedt hij superieure thermische geleidbaarheid, hoge corrosiebestendigheid en minimale vervuiling, essentieel voor de productie van efficiënte, hoogwaardige zonnepanelen.

Stuur ons een e-mail Downloaden als PDF

Productdetails

Productlabels

VET EnergieGrafietdrager voor het PECVD-proces is een hoogwaardig verbruiksartikel, speciaal ontwikkeld voor het PECVD-proces (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Deze grafietdrager is gemaakt van zeer zuiver grafietmateriaal met een hoge dichtheid, uitstekende temperatuurbestendigheid, corrosiebestendigheid, maatvastheid en andere eigenschappen. Het kan een stabiel dragerplatform vormen voor het PECVD-proces en de uniformiteit en vlakheid van dunnefilmdepositie garanderen.

Grafietdragers voor het PECVD-proces hebben de volgende eigenschappen:

▪ Hoge zuiverheid: extreem laag gehalte aan onzuiverheden, waardoor verontreiniging van de film wordt voorkomen en de kwaliteit van de film wordt gegarandeerd.

▪ Hoge dichtheid: hoge dichtheid, hoge mechanische sterkte, bestand tegen hoge temperaturen en hoge druk in een PECVD-omgeving.

▪ Goede maatvastheid: kleine maatverandering bij hoge temperatuur, waardoor processtabiliteit wordt gegarandeerd.

▪ Uitstekende thermische geleidbaarheid: effectieve warmteoverdracht om oververhitting van de wafer te voorkomen.

▪ Hoge corrosiebestendigheid: bestand tegen erosie door verschillende corrosieve gassen en plasma.

▪ Service op maat: grafietdragers van verschillende afmetingen en vormen kunnen worden aangepast aan de behoeften van de klant.

Grafietmateriaal van SGL:

Typische parameter: R6510
Index	Testnorm	Waarde	Eenheid
Gemiddelde korrelgrootte	ISO 13320	10	μm
Bulkdichtheid	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Open porositeit	DIN66133	10	%
Middelgrote poriegrootte	DIN66133	1.8	μm
Permeabiliteit	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell-hardheid HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifieke elektrische weerstand	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Buigsterkte	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Druksterkte	DIN 51910	130	MPa
Young's modulus	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Thermische uitzetting (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Thermische geleidbaarheid (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Het is specifiek ontworpen voor de productie van zeer efficiënte zonnecellen en ondersteunt de verwerking van grote G12-wafers. Het geoptimaliseerde dragerontwerp verhoogt de doorvoer aanzienlijk, wat hogere opbrengsten en lagere productiekosten mogelijk maakt.

Item	Type	Aantal waferdragers
PEVCD Grephite boot - De 156 serie	156-13 grefietboot	144
	156-19 grefietboot	216
	156-21 grefietboot	240
	156-23 grafietboot	308
PEVCD Grephite boot - De 125 serie	125-15 grefietboot	196
	125-19 grefietboot	252
	125-21 grafietboot	280