VET EnergieDe grafietdrager voor het PECVD-proces is een hoogwaardig verbruiksartikel, speciaal ontwikkeld voor het PECVD-proces (plasma enhanced chemical vapor deposition). Deze grafietdrager is gemaakt van zeer zuiver, dicht grafietmateriaal met uitstekende eigenschappen zoals hoge temperatuurbestendigheid, corrosiebestendigheid en vormvastheid. Het biedt een stabiel platform voor het PECVD-proces en zorgt voor een uniforme en vlakke afzetting van dunne films.
Grafietdragers voor het PECVD-proces hebben de volgende kenmerken:
▪ Hoge zuiverheid: extreem laag gehalte aan onzuiverheden, waardoor verontreiniging van de film wordt voorkomen en de filmkwaliteit wordt gewaarborgd.
▪ Hoge dichtheid: hoge dichtheid, hoge mechanische sterkte, bestand tegen hoge temperaturen en hoge drukken in de PECVD-omgeving.
▪ Goede dimensionale stabiliteit: geringe dimensionale verandering bij hoge temperaturen, wat de processtabiliteit waarborgt.
▪ Uitstekende thermische geleidbaarheid: voert warmte effectief af om oververhitting van de wafer te voorkomen.
▪ Sterke corrosiebestendigheid: bestand tegen erosie door diverse corrosieve gassen en plasma.
▪ Service op maat: grafietdragers van verschillende afmetingen en vormen kunnen worden aangepast aan de wensen van de klant.
Grafietmateriaal van SGL:
| Typische parameter: R6510 | |||
| Index | Testnorm | Waarde | Eenheid |
| Gemiddelde korrelgrootte | ISO 13320 | 10 | μm |
| Bulkdichtheid | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Open porositeit | DIN66133 | 10 | % |
| Middelgrote poriën | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Doorlaatbaarheid | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell-hardheid HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Specifieke elektrische weerstand | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Buigsterkte | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Druksterkte | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Youngs modulus | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Thermische uitzetting (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Thermische geleidbaarheid (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Het is specifiek ontworpen voor de productie van hoogrenderende zonnecellen en ondersteunt de verwerking van G12-wafers van groot formaat. Het geoptimaliseerde ontwerp van de drager verhoogt de doorvoer aanzienlijk, wat resulteert in hogere opbrengsten en lagere productiekosten.
| Item | Type | Nummer waferdrager |
| PEVCD Grephite boot - De 156-serie | 156-13 grafieten boot | 144 |
| 156-19 grafieten boot | 216 | |
| 156-21 grafieten boot | 240 | |
| 156-23 grafietboot | 308 | |
| PEVCD Grephite boot - De 125-serie | 125-15 grafieten boot | 196 |
| 125-19 grafieten boot | 252 | |
| 125-21 grafietboot | 280 |
