PECVD Grafiet Wafer Ondersteuning

Korte beschrijving:

De Graphite Wafer Support van VET Energy is ontworpen voor precisie en prestaties en is het ideale materiaal voor gebruik in geavanceerde waferverwerking, waar hoge thermische stabiliteit en consistente prestaties cruciaal zijn. Of u nu werkt met halfgeleiderwafers of andere delicate substraten, deze hoogwaardige grafietondersteuning verbetert uw procesbetrouwbaarheid en productkwaliteit, waardoor het een onmisbaar onderdeel is voor moderne productie.

Stuur ons een e-mail Downloaden als PDF

Productdetails

Productlabels

VET Energy PECVD-proces grafiet wafer support is een kernverbruiksartikel ontworpen voor PECVD-processen (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Dit product is gemaakt van zeer zuiver grafietmateriaal met een hoge dichtheid, uitstekende temperatuurbestendigheid, corrosiebestendigheid, maatvastheid en andere eigenschappen. Het kan een stabiel ondersteuningsplatform bieden voor het PECVD-proces en de uniformiteit en vlakheid van de filmafzetting garanderen.

Het "grafietondersteunings"-ontwerp van de VET Energy grafietwaferondersteuning kan niet alleen de wafer effectief ondersteunen, maar ook thermische stabiliteit bieden in de PECVD-omgeving met hoge temperaturen en hoge druk om de stabiliteit van het proces te garanderen.

VET Energy PECVD-procesgrafietwaferondersteuning heeft de volgende kenmerken:

▪Hoge zuiverheid:extreem laag gehalte aan onzuiverheden, voorkomt verontreiniging van de film en garandeert de kwaliteit van de film.

▪Hoge dichtheid:hoge dichtheid, hoge mechanische sterkte, kan hoge temperaturen en hoge druk in een PECVD-omgeving weerstaan.

▪Goede maatvastheid:Kleine maatveranderingen bij hoge temperatuur om de stabiliteit van het proces te garanderen.

▪Uitstekende thermische geleidbaarheid:Effectieve warmteoverdracht om oververhitting van de wafer te voorkomen.

▪Sterke corrosiebestendigheid:Bestand tegen erosie door verschillende corrosieve gassen en plasma.

▪Service op maat:Grafiet steuntafels in verschillende afmetingen en vormen kunnen worden aangepast aan de behoeften van de klant.

Grafietmateriaal van SGL:

Typische parameter: R6510
Index	Testnorm	Waarde	Eenheid
Gemiddelde korrelgrootte	ISO 13320	10	μm
Bulkdichtheid	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Open porositeit	DIN66133	10	%
Middelgrote poriegrootte	DIN66133	1.8	μm
Permeabiliteit	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell-hardheid HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifieke elektrische weerstand	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Buigsterkte	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Druksterkte	DIN 51910	130	MPa
Young's modulus	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Thermische uitzetting (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Thermische geleidbaarheid (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Het is specifiek ontworpen voor de productie van zeer efficiënte zonnecellen en ondersteunt de verwerking van grote G12-wafers. Het geoptimaliseerde dragerontwerp verhoogt de doorvoer aanzienlijk, wat hogere opbrengsten en lagere productiekosten mogelijk maakt.

Item	Type	Aantal waferdragers
PEVCD Grephite boot - De 156 serie	156-13 grefietboot	144
	156-19 grefietboot	216
	156-21 grefietboot	240
	156-23 grafietboot	308
PEVCD Grephite boot - De 125 serie	125-15 grefietboot	196
	125-19 grefietboot	252
	125-21 grafietboot	280