PECVD-grafietwafelondersteuning

De VET Energy PECVD-waferdrager van grafiet is een essentieel verbruiksartikel voor het PECVD-proces (plasma enhanced chemical vapor deposition). Dit product is vervaardigd van zeer zuiver, dicht grafietmateriaal met uitstekende eigenschappen zoals hoge temperatuurbestendigheid, corrosiebestendigheid en vormvastheid. Het biedt een stabiel ondersteuningsplatform voor het PECVD-proces en zorgt voor een uniforme en vlakke filmdepositie.

Het "grafietsteun"-ontwerp van de VET Energy-grafietwafeldrager kan niet alleen de wafel effectief ondersteunen, maar ook thermische stabiliteit bieden in de PECVD-omgeving met hoge temperaturen en hoge drukken, waardoor de stabiliteit van het proces wordt gewaarborgd.

De grafietwafeldrager van het VET Energy PECVD-proces heeft de volgende kenmerken:

▪Hoge zuiverheid:Extreem laag gehalte aan onzuiverheden, voorkomt verontreiniging van de film en garandeert de kwaliteit ervan.

▪Hoge dichtheid:Hoge dichtheid, hoge mechanische sterkte, bestand tegen hoge temperaturen en hoge druk in de PECVD-omgeving.

▪Goede dimensionale stabiliteit:kleine dimensionale veranderingen bij hoge temperatuur om de stabiliteit van het proces te waarborgen.

▪Uitstekende warmtegeleiding:Effectief warmte afvoeren om oververhitting van de wafer te voorkomen.

▪Sterke corrosiebestendigheid:Bestand tegen erosie door diverse corrosieve gassen en plasma.

▪Service op maat:Grafieten steuntafels in verschillende maten en vormen kunnen op maat gemaakt worden volgens de wensen van de klant.