PECVD grafitskivsstöd

Kort beskrivning:

VET Energys grafitskivsstöd är utformat för precision och prestanda och är det perfekta materialet för användning i avancerad skivbearbetning, där hög termisk stabilitet och konsekvent prestanda är avgörande. Oavsett om du arbetar med halvledarskivor eller andra känsliga substrat, kommer detta högkvalitativa grafitstöd att förbättra din processsäkerhet och produktkvalitet, vilket gör det till en oumbärlig komponent för modern tillverkning.

Skicka e-post till oss Ladda ner som PDF

Produktinformation

Produktetiketter

VET Energy PECVD-processens grafitskivsstöd är en kärnförbrukningsvara avsedd för PECVD-processen (plasmaförstärkt kemisk ångdeponering). Denna produkt är tillverkad av högrent grafitmaterial med hög densitet, med utmärkt högtemperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, dimensionsstabilitet och andra egenskaper, och kan ge en stabil stödplattform för PECVD-processen för att säkerställa enhetlighet och planhet i filmdeponeringen.

VET Energys grafitskivsstöd har en "grafitstöds"-design som inte bara effektivt stödjer skivan, utan ger även termisk stabilitet i PECVD-miljöer med hög temperatur och högt tryck för att säkerställa processens stabilitet.

VET Energy PECVD-processens grafitskivsstöd har följande egenskaper:

▪Hög renhet:extremt lågt innehåll av föroreningar, undvik kontaminering av filmen, för att säkerställa filmens kvalitet.

▪Hög densitet:hög densitet, hög mekanisk hållfasthet, tål hög temperatur och högt tryck i PECVD-miljöer.

▪God dimensionsstabilitet:små dimensionsförändringar vid hög temperatur för att säkerställa processens stabilitet.

▪Utmärkt värmeledningsförmåga:överför effektivt värme för att förhindra överhettning av wafern.

▪Stark korrosionsbeständighet:Förmåga att motstå erosion från olika korrosiva gaser och plasma.

▪Anpassad tjänst:Grafitstödbord i olika storlekar och former kan anpassas efter kundens behov.

Grafitmaterial från SGL:

Typisk parameter: R6510
Index	Teststandard	Värde	Enhet
Genomsnittlig kornstorlek	ISO 13320	10	μm
Skrymdensitet	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm²³
Öppen porositet	DIN66133	10	%
Medelstor porstorlek	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitet	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell-hårdhet HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifik elektrisk resistivitet	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Böjhållfasthet	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Tryckhållfasthet	DIN 51910	130	MPa
Youngs modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Termisk expansion (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Värmeledningsförmåga (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Den är specifikt utformad för högeffektiv tillverkning av solceller och stöder bearbetning av stora G12-wafers. Optimerad bärardesign ökar genomströmningen avsevärt, vilket möjliggör högre avkastning och lägre produktionskostnader.

Punkt	Typ	Nummerskivorbärare
PEVCD Grephite-båt - 156-serien	156-13 grefitbåt	144
	156-19 grefitbåt	216
	156-21 grefitbåt	240
	156-23 grafitbåt	308
PEVCD Grephite-båt - 125-serien	125-15 grefitbåt	196
	125-19 grefitbåt	252
	125-21 grafitbåt	280