Grafitbärare för PECVD-processen

Kort beskrivning:

VET-energiPECVD-grafitbåten för solpaneler är en avancerad komponent som är speciellt utformad för produktion av högpresterande solpaneler. Denna grafitbåt, som används i PECVD-processer (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), säkerställer optimal materialhantering och jämn avsättning av tunna filmer på solceller. Den är konstruerad för precision och hållbarhet och ger överlägsen värmeledningsförmåga, hög korrosionsbeständighet och minimal kontaminering, vilket är avgörande för produktion av effektiva solpaneler av hög kvalitet.

Skicka e-post till oss Ladda ner som PDF

Produktinformation

Produktetiketter

VET-energiPECVD-processens grafitbärare är en högkvalitativ förbrukningsvara skräddarsydd för PECVD-processen (plasmaförstärkt kemisk ångdeponering). Denna grafitbärare är tillverkad av högrent grafitmaterial med hög densitet, med utmärkt högtemperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, dimensionsstabilitet och andra egenskaper, och kan ge en stabil bärarplattform för PECVD-processen för att säkerställa enhetlighet och planhet vid tunnfilmsdeponering.

Grafitbärare för PECVD-processen har följande egenskaper:

▪ Hög renhet: extremt lågt innehåll av föroreningar, vilket undviker kontaminering av filmen och säkerställer filmkvaliteten.

▪ Hög densitet: hög densitet, hög mekanisk hållfasthet, tål höga temperaturer och högt tryck i PECVD-miljöer.

▪ God dimensionsstabilitet: liten dimensionsförändring vid hög temperatur, vilket säkerställer processstabilitet.

▪ Utmärkt värmeledningsförmåga: överför effektivt värme för att förhindra överhettning av wafern.

▪ Stark korrosionsbeständighet: kan motstå erosion från olika korrosiva gaser och plasma.

▪ Anpassad service: grafitbärare i olika storlekar och former kan anpassas efter kundens behov.

Grafitmaterial från SGL:

Typisk parameter: R6510
Index	Teststandard	Värde	Enhet
Genomsnittlig kornstorlek	ISO 13320	10	μm
Skrymdensitet	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm²³
Öppen porositet	DIN66133	10	%
Medelstor porstorlek	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitet	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell-hårdhet HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifik elektrisk resistivitet	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Böjhållfasthet	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Tryckhållfasthet	DIN 51910	130	MPa
Youngs modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Termisk expansion (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Värmeledningsförmåga (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Den är specifikt utformad för högeffektiv tillverkning av solceller och stöder bearbetning av stora G12-wafers. Optimerad bärardesign ökar genomströmningen avsevärt, vilket möjliggör högre avkastning och lägre produktionskostnader.

Punkt	Typ	Nummerskivorbärare
PEVCD Grephite-båt - 156-serien	156-13 grefitbåt	144
	156-19 grefitbåt	216
	156-21 grefitbåt	240
	156-23 grafitbåt	308
PEVCD Grephite-båt - 125-serien	125-15 grefitbåt	196
	125-19 grefitbåt	252
	125-21 grafitbåt	280