SiC-waferboot/toring

Produkbesonderhede

ProdukDbeskrywing

Silikonkarbied Wafer Boat word wyd gebruik as 'n waferhouer in hoëtemperatuurdiffusieprosesse.

Voordele:

Hoë temperatuur weerstand:normale gebruik teen 1800 ℃

Hoë termiese geleidingsvermoë:gelykstaande aan grafietmateriaal

Hoë hardheid:hardheid tweede slegs na diamant, boornitried

Korrosiebestandheid:sterk suur en alkali het geen korrosie daaraan nie, die korrosiebestandheid is beter as wolframkarbied en alumina

Liggewig:lae digtheid, naby aan aluminium

Geen vervorming: lae termiese uitbreidingskoëffisiënt

Termiese skokweerstand:dit kan skerp temperatuurveranderinge weerstaan, termiese skok weerstaan en stabiele werkverrigting hê

Fisiese Eienskappe van SiC

Eiendom	Waarde	Metode
Digtheid	3.21 g/cc	Sink-dryf en dimensie
Spesifieke hitte	0.66 J/g °K	Gepulseerde laserflits
Buigsterkte	450 MPa 560 MPa	4-punt buiging, RT4-punt buiging, 1300°
Breuksterkte	2.94 MPa m³	Mikroindentasie
Hardheid	2800	Vicker's, 500g lading
Elastiese Modulus Young se Modulus	450 GPa430 GPa	4 pt buiging, RT4 pt buiging, 1300 °C
Korrelgrootte	2 – 10 µm	SEM