SiC Wafer Tekne/Kule

Ürün Detayı

ÜrünDaçıklama

Silisyum karbürlü Wafer Boat, yüksek sıcaklık difüzyon prosesinde wafer tutucu olarak yaygın olarak kullanılmaktadır.

Avantajları:

Yüksek sıcaklık dayanımı:1800 ℃'de normal kullanım

Yüksek ısı iletkenliği:grafit malzemesine eşdeğer

Yüksek sertlik:sertlik elmastan sonra ikinci sıradadır, bor nitrür

Korozyon direnci:Güçlü asit ve alkali korozyona uğramaz, korozyon direnci tungsten karbür ve alüminadan daha iyidir

Hafif ağırlık:düşük yoğunluklu, alüminyuma yakın

Hiçbir deformasyon yok: düşük termal genleşme katsayısı

Isıl şok direnci:ani sıcaklık değişimlerine dayanabilir, termal şoka karşı koyabilir ve istikrarlı performansa sahiptir

SiC'nin Fiziksel Özellikleri

Mülk	Değer	Yöntem
Yoğunluk	3,21 gr/cc	Batma-yüzme ve boyutlandırma
Özgül ısı	0,66 J/g °K	Darbeli lazer flaşı
Eğilme dayanımı	450 MPa560 MPa	4 nokta büküm, RT4 nokta büküm, 1300°
Kırılma tokluğu	2,94 MPa m1/2	Mikro girinti
Sertlik	2800	Vicker's, 500g yük
Elastiklik ModülüYoung Modülü	450 GPa430 GPa	4 noktalı dirsek, RT4 noktalı dirsek, 1300 °C
Tane boyutu	2 – 10 µm	SEM