Bateau/tour à plaquettes SiC

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ProduitDdescription

Les plaquettes en carbure de silicium sont largement utilisées comme support de plaquettes dans le processus de diffusion à haute température.

Avantages :

Résistance aux hautes températures :utilisation normale à 1800 ℃

conductivité thermique élevée:équivalent au matériau graphite

Dureté élevée:dureté deuxième après le diamant, le nitrure de bore

Résistance à la corrosion:les acides forts et les alcalis ne sont pas corrosifs, la résistance à la corrosion est meilleure que celle du carbure de tungstène et de l'alumine

Poids léger:faible densité, proche de l'aluminium

Aucune déformation: faible coefficient de dilatation thermique

Résistance aux chocs thermiques:il peut résister à des changements brusques de température, résister aux chocs thermiques et avoir des performances stables

Propriétés physiques du SiC

Propriété	Valeur	Méthode
Densité	3,21 g/cc	Couloir-flotteur et dimension
Chaleur spécifique	0,66 J/g °K	Flash laser pulsé
Résistance à la flexion	450 MPa 560 MPa	Coude à 4 points, RT4 coude à 4 points, 1300°
Ténacité à la rupture	2,94 MPa m1/2	Microindentation
Dureté	2800	Vicker's, charge de 500 g
Module d'élasticitéModule de Young	450 GPa430 GPa	Coude 4 points, RT4 coude pt, 1300 °C
Taille des grains	2 – 10 µm	SEM

Propriétés thermiques du SiC

Conductivité thermique	250 W/m °K	Méthode du flash laser, RT
Dilatation thermique (CTE)	4,5 x 10-6 °K	Température ambiante à 950 °C, dilatomètre en silice