Bateau/tour pour plaquettes de SiC

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ProduitDdescription

Les supports de plaquettes en carbure de silicium sont largement utilisés comme porte-plaquettes dans les procédés de diffusion à haute température.

Avantages :

Résistance aux hautes températures :utilisation normale à 1800 °C

Conductivité thermique élevée:équivalent au matériau graphite

Dureté élevée:Nitrure de bore, dont la dureté n'est surpassée que par celle du diamant

résistance à la corrosion:Les acides et les bases forts ne le corrodent pas ; sa résistance à la corrosion est supérieure à celle du carbure de tungstène et de l'alumine.

léger:faible densité, proche de l'aluminium

Aucune déformation: faible coefficient de dilatation thermique

résistance aux chocs thermiques:Il peut supporter des variations de température importantes, résister aux chocs thermiques et présente des performances stables.

Propriétés physiques du SiC

Propriété	Valeur	Méthode
Densité	3,21 g/cm³	Évier-flotteur et dimensions
Chaleur spécifique	0,66 J/g °K	Flash laser pulsé
Résistance à la flexion	450 MPa 560 MPa	Pliage en 4 points, pliage RT4 points, 1300°
ténacité à la rupture	2,94 MPa m1/2	Microindentation
Dureté	2800	Vickers, charge de 500 g
Module d'élasticité Module de Young	450 GPa 430 GPa	4 points de pliage, RT4 points de pliage, 1300 °C
Taille des grains	2 – 10 µm	MEB

Propriétés thermiques du SiC

Conductivité thermique	250 W/m °K	Méthode du flash laser, RT
Dilatation thermique (CTE)	4,5 x 10⁻⁶ °K	Température ambiante à 950 °C, dilatomètre en silice