SiC Wafer Boat/Tower

Taipitopito Hua

HuaDwhakamaaramatanga

Ko te Wafer Boat Silicon carbide e whakamahia nuitia ana hei kaipupuri angiangi i roto i te tukanga whakamaarama wera nui.

Painga:

Te ātete pāmahana teitei:te whakamahi noa i te 1800 ℃

Te werawera teitei:he rite ki te rauemi kauwhata

Te pakeke teitei:te pakeke tuarua ki te taimana, boron nitride

Te aukati waikura:Ko te waikawa kaha me te alkali kaore he waikura ki a ia, he pai ake te aukati o te waikura i te tungsten carbide me te alumina

Te taumaha mama:iti kiato, tata ki te konumohe

No deformation: whakarea iti o te roha wera

Te ātete ru werawera:ka taea e ia te tu atu i nga huringa pāmahana koi, te aukati i te ru werawera, me te kaha o te mahi

Nga Tikanga Tinana o SiC

Taonga	Uara	Tikanga
Kiato	3.21 g/cc	Totohu-maana me te rahi
Te wera motuhake	0.66 J/g °K	Kohiko hikoi laser
Te kaha whakaheke	450 MPa560 MPa	4 piko piko, RT4 piko piko, 1300°
Te pakari o te whati	2.94 MPa m1/2	Microindentation
Te pakeke	2800	Vicker's, 500g te utaina
Elastic ModulusYoung's Modulus	450 GPa430 GPa	4 pt piko, RT4 pt piko, 1300 °C
Te rahi o te witi	2 – 10 µm	SEM