SiC వేఫర్ బోట్/టవర్

ఉత్పత్తి వివరాలు

ఉత్పత్తిDవివరణ

అధిక ఉష్ణోగ్రత వ్యాపన ప్రక్రియలో సిలికాన్ కార్బైడ్ వేఫర్ బోట్‌లను వేఫర్ హోల్డర్‌గా విస్తృతంగా ఉపయోగిస్తారు.

ప్రయోజనాలు:

అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత:1800 ℃ వద్ద సాధారణ ఉపయోగం

అధిక ఉష్ణ వాహకత:గ్రాఫైట్ పదార్థానికి సమానమైనది

అధిక కాఠిన్యం:వజ్రం తర్వాత రెండవ కఠినత్వం, బోరాన్ నైట్రైడ్

తుప్పు నిరోధకత:బలమైన ఆమ్లాలు మరియు క్షారాల వల్ల దీనికి తుప్పు పట్టదు, దీని తుప్పు నిరోధకత టంగ్‌స్టన్ కార్బైడ్ మరియు అల్యూమినా కంటే మెరుగైనది.

తేలికైన బరువు:తక్కువ సాంద్రత, అల్యూమినియంకు దగ్గరగా

వైకల్యం లేదు: తక్కువ ఉష్ణ వ్యాకోచ గుణకం

ఉష్ణ షాక్ నిరోధకత:ఇది తీవ్రమైన ఉష్ణోగ్రత మార్పులను తట్టుకోగలదు, థర్మల్ షాక్‌ను నిరోధించగలదు మరియు స్థిరమైన పనితీరును కలిగి ఉంటుంది.

SiC యొక్క భౌతిక లక్షణాలు

ఆస్తి	విలువ	పద్ధతి
సాంద్రత	3.21 గ్రా/సిసి	మునిగిపోవడం-తేలడం మరియు కొలత
విశిష్ట ఉష్ణం	0.66 J/g °K	పల్స్డ్ లేజర్ ఫ్లాష్
వంగుదల బలం	450 MPa 560 MPa	4 పాయింట్ బెండ్, RT4 పాయింట్ బెండ్, 1300°
ఫ్రాక్చర్ టఫ్నెస్	2.94 MPa m1/2	మైక్రోఇండెంటేషన్
కఠినత్వం	2800	విక్కర్స్, 500గ్రాముల లోడ్
స్థితిస్థాపక గుణకం యంగ్ గుణకం	450 GPa 430 GPa	4 పాయింట్ల వంపు, RT4 పాయింట్ల వంపు, 1300 °C
ధాన్యం పరిమాణం	2 – 10 µm	SEM

SiC యొక్క ఉష్ణ లక్షణాలు

ఉష్ణ వాహకత	250 W/m °K	లేజర్ ఫ్లాష్ పద్ధతి, RT
ఉష్ణ వ్యాకోచం (CTE)	4.5 x 10-6 °K	గది ఉష్ణోగ్రత నుండి 950 °C వరకు, సిలికా డైలాటోమీటర్