제품D설명
실리콘 카바이드 웨이퍼 보트는 고온 확산 공정에서 웨이퍼 홀더로 널리 사용됩니다.
장점:
고온 저항성:1800℃에서 정상 사용
높은 열전도도:흑연 재료와 동일
높은 경도:다이아몬드, 질화붕소 다음으로 경도가 높음
내식성:강산 및 강알칼리 부식이 없고, 텅스텐 카바이드 및 알루미나보다 내식성이 우수합니다.
가벼운 무게:낮은 밀도, 알루미늄에 가까움
변형 없음: 낮은 열팽창 계수
열충격 저항성:급격한 온도 변화에도 견디고 열충격에도 강하며 안정적인 성능을 보입니다.
SiC의 물리적 특성
| 재산 | 값 | 방법 |
| 밀도 | 3.21g/cc | 싱크-플로트 및 차원 |
| 비열 | 0.66 J/g °K | 펄스 레이저 플래시 |
| 굽힘 강도 | 450MPa560MPa | 4점 굽힘, RT4점 굽힘, 1300° |
| 파괴인성 | 2.94MPa m1/2 | 미세압입 |
| 경도 | 2800 | 비커스, 500g 부하 |
| 탄성계수영률 | 450 GPa430 GPa | 4pt 굽힘, RT4pt 굽힘, 1300°C |
| 입자 크기 | 2 – 10마이크로미터 | 전자 현미경 |
SiC의 열적 특성
| 열전도도 | 250W/m °K | 레이저 플래시 방식, RT |
| 열팽창(CTE) | 4.5 x 10-6 °K | 실온 ~ 950°C, 실리카 팽창계 |
