제품D설명
탄화규소 웨이퍼 보트는 고온 확산 공정에서 웨이퍼 홀더로 널리 사용됩니다.
장점:
고온 저항성:1800℃에서의 정상 사용
높은 열전도율:흑연 소재와 동일
높은 경도:다이아몬드 다음으로 경도가 높은 질화붕소
내식성:강산과 강알칼리에 부식되지 않으며, 내식성은 탄화텅스텐과 알루미나보다 우수합니다.
가벼운:밀도가 낮고 알루미늄과 유사합니다.
변형 없음: 낮은 열팽창 계수
열충격 저항성:급격한 온도 변화를 견딜 수 있고, 열충격에 강하며, 안정적인 성능을 제공합니다.
SiC의 물리적 특성
| 재산 | 값 | 방법 |
| 밀도 | 3.21 g/cc | 침강/부력 및 치수 |
| 비열 | 0.66 J/g °K | 펄스 레이저 플래시 |
| 굽힘 강도 | 450 MPa 560 MPa | 4점 벤드, RT4점 벤드, 1300° |
| 파괴 인성 | 2.94 MPa m1/2 | 미세압입 |
| 경도 | 2800 | 비커스, 500g 장전 |
| 탄성 계수, 영률 | 450 GPa 430 GPa | 4점 굽힘, RT4점 굽힘, 1300°C |
| 입자 크기 | 2~10 µm | 주사전자현미경(SEM) |
SiC의 열적 특성
| 열전도율 | 250 W/m °K | 레이저 플래시 방식, RT |
| 열팽창(CTE) | 4.5 x 10⁻⁶ °K | 실온에서 950°C까지, 실리카 팽창계 |
