SiC-Waferboot/-Turm

Produktdetail

ProduktDBeschreibung

Siliziumkarbid-Waferboote werden häufig als Waferhalter in Hochtemperaturdiffusionsprozessen verwendet.

Vorteile:

Hohe Temperaturbeständigkeit:Normalgebrauch bei 1800 ℃

Hohe Wärmeleitfähigkeit:entspricht Graphitmaterial

Hohe Härte:Härte nach Diamant, Bornitrid

Korrosionsbeständigkeit:starke Säure und Alkali haben keine Korrosion, die Korrosionsbeständigkeit ist besser als Wolframkarbid und Aluminiumoxid

Geringes Gewicht:geringe Dichte, ähnlich wie Aluminium

Keine Verformung: niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient

Thermoschockbeständigkeit:Es hält starken Temperaturschwankungen stand, widersteht Thermoschocks und weist eine stabile Leistung auf

Physikalische Eigenschaften von SiC

Eigentum	Wert	Verfahren
Dichte	3,21 g/cm³	Sink-Float und Dimension
Spezifische Wärme	0,66 J/g °K	Gepulster Laserblitz
Biegefestigkeit	450 MPa560 MPa	4-Punkt-Bogen, RT4-Punkt-Bogen, 1300°
Bruchzähigkeit	2,94 MPa m1/2	Mikroindentation
Härte	2800	Vickers, 500 g Ladung
ElastizitätsmodulElastizitätsmodul	450 GPa430 GPa	4-Punkt-Bogen, RT4-Punkt-Bogen, 1300 °C
Körnung	2 – 10 µm	Rasterelektronenmikroskop (SEM)