Barca/Torre in wafer di SiC

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ProdottoDdescrizione

Le barchette per wafer in carburo di silicio sono ampiamente utilizzate come supporti per wafer nei processi di diffusione ad alta temperatura.

Vantaggi:

Resistenza alle alte temperature:utilizzo normale a 1800 ℃

Elevata conduttività termica:equivalente al materiale di grafite

Elevata durezza:durezza seconda solo al diamante, nitruro di boro

Resistenza alla corrosione:gli acidi forti e gli alcali non hanno corrosione, la resistenza alla corrosione è migliore del carburo di tungsteno e dell'allumina

Peso leggero:bassa densità, vicina all'alluminio

Nessuna deformazione: basso coefficiente di dilatazione termica

Resistenza agli shock termici:può resistere a bruschi sbalzi di temperatura, resistere agli shock termici e ha prestazioni stabili

Proprietà fisiche del SiC

Proprietà	Valore	Metodo
Densità	3,21 g/cc	Sink-float e dimensione
Calore specifico	0,66 J/g °K	Flash laser pulsato
Resistenza alla flessione	450 MPa560 MPa	Curva a 4 punti, curva a 4 punti RT, 1300°
Tenacità alla frattura	2,94 MPa m1/2	Microindentazione
Durezza	2800	Vicker's, carico da 500 g
Modulo elasticoModulo di Young	450 GPa 430 GPa	Curvatura a 4 pt, curvatura RT4 pt, 1300 °C
granulometria	2 – 10 µm	SEM