एसआयसी वेफर बोट/टॉवर

उत्पादनDलिपीबद्ध करणे

सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट उच्च तापमान प्रसार प्रक्रियेत वेफर होल्डर म्हणून मोठ्या प्रमाणावर वापरली जातात.

फायदे:

उच्च तापमान प्रतिकार:१८०० ℃ वर सामान्य वापर

उच्च औष्णिक चालकता:ग्रेफाइट मटेरियलच्या समतुल्य

उच्च कडकपणा:हिऱ्यानंतर दुसऱ्या क्रमांकाचा कडकपणा, बोरॉन नायट्राइड

गंज प्रतिकार:मजबूत आम्ल आणि अल्कलींना गंज येत नाही, गंज प्रतिरोधकता टंगस्टन कार्बाइड आणि अॅल्युमिनापेक्षा चांगली आहे.

हलके वजन:कमी घनता, अॅल्युमिनियमच्या जवळ

विकृत रूप नाही: कमी थर्मल विस्तार गुणांक

थर्मल शॉक प्रतिरोधकता:ते तापमानात तीव्र बदल सहन करू शकते, थर्मल शॉकला प्रतिकार करू शकते आणि स्थिर कामगिरी करू शकते.

SiC चे भौतिक गुणधर्म

SiC चे औष्णिक गुणधर्म