SiC वेफर बोट/टॉवर

उत्पादDलेखन

सिलिकॉन कार्बाइड वेफर नाव व्यापक रूप से उच्च तापमान प्रसार प्रक्रिया में वेफर धारक के रूप में उपयोग किया जाता है।

लाभ:

उच्च तापमान प्रतिरोध:1800 ℃ पर सामान्य उपयोग

उच्च तापीय चालकता:ग्रेफाइट सामग्री के बराबर

उच्च कठोरता:हीरे के बाद दूसरे नंबर पर कठोरता, बोरॉन नाइट्राइड

संक्षारण प्रतिरोध:मजबूत एसिड और क्षार में कोई संक्षारण नहीं है, संक्षारण प्रतिरोध टंगस्टन कार्बाइड और एल्यूमिना से बेहतर है

हल्का वजन:कम घनत्व, एल्युमीनियम के करीब

कोई विरूपण नहीं: तापीय प्रसार का कम गुणांक

थर्मल शॉक प्रतिरोध:यह तेज तापमान परिवर्तन का सामना कर सकता है, थर्मल शॉक का प्रतिरोध कर सकता है, और इसका प्रदर्शन स्थिर है

SiC के भौतिक गुण

SiC के ऊष्मीय गुण