SiC वेफर बोट/टावर

उत्पादDलेखन

सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट का उपयोग उच्च तापमान प्रसार प्रक्रिया में वेफर होल्डर के रूप में व्यापक रूप से किया जाता है।

लाभ:

उच्च तापमान प्रतिरोध:1800 ℃ पर सामान्य उपयोग

उच्च तापीय चालकता:ग्रेफाइट सामग्री के समतुल्य

उच्च कठोरता:कठोरता के मामले में यह हीरे और बोरॉन नाइट्राइड के बाद दूसरे स्थान पर है।

संक्षारण प्रतिरोध:प्रबल अम्ल और क्षार इस पर कोई संक्षारण नहीं करते; इसकी संक्षारण प्रतिरोधकता टंगस्टन कार्बाइड और एल्यूमिना से बेहतर है।

हल्का वजन:कम घनत्व, एल्यूमीनियम के करीब

कोई विरूपण नहीं: कम तापीय प्रसार गुणांक

थर्मल शॉक प्रतिरोध:यह तापमान में तीव्र परिवर्तन को सहन कर सकता है, ऊष्मीय झटके का प्रतिरोध कर सकता है और इसका प्रदर्शन स्थिर है।

SiC के भौतिक गुण

SiC के तापीय गुण