製品D説明
炭化ケイ素ウェーハボートは、高温拡散プロセスにおけるウェーハホルダーとして広く使用されています。
利点:
耐高温性：1800℃での通常使用
高い熱伝導率:グラファイト材料に相当する
高硬度:ダイヤモンドに次ぐ硬さを持つ窒化ホウ素
耐食性:強酸や強アルカリに対して腐食性がないため、耐腐食性は炭化タングステンやアルミナよりも優れています。
軽量:密度が低く、アルミニウムに近い
変形なし: 低い熱膨張係数
耐熱衝撃性:急激な温度変化や熱衝撃にも耐え、安定した性能を発揮します。
SiCの物理的特性
| 財産 | 価値 | 方法 |
| 密度 | 3.21 g/cc | 沈下浮上と寸法 |
| 比熱 | 0.66 J/g °K | パルスレーザーフラッシュ |
| 曲げ強度 | 450 MPa560 MPa | 4点曲げ、RT4点曲げ、1300° |
| 破壊靭性 | 2.94 MPa m1/2 | マイクロインデンテーション |
| 硬度 | 2800 | ビッカース、500g荷重 |
| 弾性係数ヤング率 | 450 GPa430 GPa | 4点曲げ、RT4点曲げ、1300℃ |
| 粒度 | 2～10µm | SEM |
SiCの熱特性
| 熱伝導率 | 250 W/m°K | レーザーフラッシュ法、RT |
| 熱膨張（CTE） | 4.5 x 10-6°K | 室温～950℃、シリカ膨張計 |
