SiC-wafelboot/toren

Korte beschrijving:

Stuur ons een e-mail. Downloaden als PDF

Productdetails

Productlabels

ProductDbeschrijving

Siliciumcarbide waferhouders worden veel gebruikt bij diffusieprocessen op hoge temperatuur.

Voordelen:

Hoge temperatuurbestendigheid:normaal gebruik bij 1800 ℃

Hoge thermische geleidbaarheid:gelijkwaardig aan grafietmateriaal

Hoge hardheid:Boornitride is na diamant de hardste steen.

Corrosiebestendigheid:Sterke zuren en basen hebben geen corrosieve werking; de corrosiebestendigheid is beter dan die van wolframcarbide en aluminiumoxide.

Lichtgewicht:lage dichtheid, vergelijkbaar met aluminium

Geen vervorming: lage thermische uitzettingscoëfficiënt

Thermische schokbestendigheid:Het is bestand tegen abrupte temperatuurschommelingen, thermische schokken en heeft stabiele prestaties.

Fysische eigenschappen van SiC

Eigendom	Waarde	Methode
Dikte	3,21 g/cc	Zink-drijfvermogen en afmeting
Soortelijke warmte	0,66 J/g °K	Gepulseerde laserflits
Buigsterkte	450 MPa 560 MPa	4-punts bocht, RT4-punts bocht, 1300°
Breuktaaiheid	2,94 MPa m1/2	Micro-indentatie
Hardheid	2800	Vickers, 500 g lading
Elasticiteitsmodulus \| Youngs modulus	450 GPa 430 GPa	4-punts buiging, RT4-punts buiging, 1300 °C
Korrelgrootte	2 – 10 µm	SEM

Thermische eigenschappen van SiC

Thermische geleidbaarheid	250 W/m² °K	Laserflitsmethode, RT
Thermische uitzetting (CTE)	4,5 x 10⁻⁶ °K	Kamertemperatuur tot 950 °C, silicadilatometer