SiC Waferboot/Toren

Korte beschrijving:

Stuur ons een e-mail Downloaden als PDF

Productdetails

Productlabels

ProductDbeschrijving

Waferboten van siliciumcarbide worden veelvuldig gebruikt als waferhouder bij diffusieprocessen bij hoge temperaturen.

Voordelen:

Hoge temperatuurbestendigheid:normaal gebruik bij 1800 ℃

Hoge thermische geleidbaarheid:gelijkwaardig aan grafietmateriaal

Hoge hardheid:hardheid op de tweede plaats na diamant en boornitride

Corrosiebestendigheid:Sterke zuren en alkaliën hebben geen corrosieve werking, de corrosiebestendigheid is beter dan die van wolfraamcarbide en aluminiumoxide.

Lichtgewicht:lage dichtheid, dicht bij aluminium

Geen vervorming: lage thermische uitzettingscoëfficiënt

Thermische schokbestendigheid:het kan scherpe temperatuurveranderingen weerstaan, is bestand tegen thermische schokken en heeft stabiele prestaties

Fysieke eigenschappen van SiC

Eigendom	Waarde	Methode
Dikte	3,21 g/cc	Zinken-drijven en maatvoering
Soortelijke warmte	0,66 J/g °K	Gepulste laserflits
Buigsterkte	450 MPa560 MPa	4-punts bocht, RT4-punts bocht, 1300°
Breuktaaiheid	2,94 MPa m1/2	Micro-indrukking
Hardheid	2800	Vicker's, 500g lading
Elastische modulusYoung's modulus	450 GPa430 GPa	4 pt bocht, RT4 pt bocht, 1300 °C
Korrelgrootte	2 – 10 µm	SEM