SiC вафли чамец/кула

Детали за производот

ПроизводDопис

Бродовите со силициум карбид се широко користени како држач за вафли во процесот на дифузија на висока температура.

Предности:

Отпорност на високи температури:нормална употреба на 1800 ℃

Висока топлинска спроводливост:еквивалентно на графитен материјал

Висока тврдост:тврдост втора по дијамантот, бор нитрид

Отпорност на корозија:силната киселина и алкалијата немаат корозија, отпорноста на корозија е подобра од волфрам карбид и алумина

Лесна тежина:мала густина, блиску до алуминиум

Без деформација: низок коефициент на топлинска експанзија

Отпорност на термички шок:може да издржи остри температурни промени, да се спротивстави на термички шок и да има стабилни перформанси

Физички својства на SiC

Имот	Вредност	Метод
Густина	3,21 г/куб. см	Мијалник-пловак и димензија
Специфична топлина	0,66 J/g °K	Пулсен ласерски блиц
Јачина на свиткување	450 MPa560 MPa	4-точки свиткување, RT4-точки свиткување, 1300°
Отпорност на кршење	2,94 MPa m1/2	Микроиндентација
Тврдост	2800	Викерс, полнење од 500 г
Модул на еластичностЈангов модул	450 GPa430 GPa	4-pt свиткување, RT4-pt свиткување, 1300 °C
Големина на зрно	2 – 10 µm	СЕМ

Термички својства на SiC

Топлинска спроводливост	250 W/m °K	Метод на ласерски блиц, RT
Термичка експанзија (CTE)	4,5 x 10-6 °K	Собна температура до 950 °C, дилатометар со силициум дилататометар