ເຮືອ/ຫໍຄອຍ SiC Wafer

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ຜະລິດຕະພັນDຄຳອະທິບາຍ

ເຮືອເວເຟີຊິລິໂຄນຄາໄບດ໌ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງເປັນຜູ້ຖືເວເຟີໃນຂະບວນການແຜ່ກະຈາຍອຸນຫະພູມສູງ.

ຂໍ້ດີ:

ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ:ການນຳໃຊ້ປົກກະຕິທີ່ 1800 ℃

ການນຳຄວາມຮ້ອນສູງ:ທຽບເທົ່າກັບວັດສະດຸ graphite

ຄວາມແຂງສູງ:ຄວາມແຂງເປັນອັນດັບສອງຮອງຈາກເພັດ, ໄນໄຕຣດໂບຣອນ

ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ:ກົດແລະດ່າງທີ່ເຂັ້ມແຂງບໍ່ມີການກັດກ່ອນ, ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນແມ່ນດີກ່ວາ tungsten carbide ແລະ alumina

ນ້ຳໜັກເບົາ:ຄວາມໜາແໜ້ນຕ່ຳ, ໃກ້ກັບອາລູມີນຽມ

ບໍ່ມີການຜິດຮູບ: ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕໍ່າ

ຄວາມຕ້ານທານການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ:ມັນສາມາດທົນຕໍ່ການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມຢ່າງຮຸນແຮງ, ຕ້ານທານກັບອາການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ, ແລະມີປະສິດທິພາບທີ່ໝັ້ນຄົງ

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງ SiC

ຊັບສິນ	ມູນຄ່າ	ວິທີການ
ຄວາມໜາແໜ້ນ	3.21 ກຣາມ/ຊີຊີ	ຈົມ-ລອຍ ແລະ ມິຕິ
ຄວາມຮ້ອນສະເພາະ	0.66 J/g °K	ແຟລດເລເຊີແບບກະພິບ
ຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດງໍ	450 MPa560 MPa	ງໍ 4 ຈຸດ, ງໍ 4 ຈຸດ, 1300°
ຄວາມທົນທານຂອງການແຕກຫັກ	2.94 MPa m1/2	ການຫຍໍ້ໜ້າຂະໜາດນ້ອຍ
ຄວາມແຂງ	2800	Vicker's, ນ້ຳໜັກ 500 ກຣາມ
ໂມດູນຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ ໂມດູນຂອງໜຸ່ມ	450 GPa430 GPa	ງໍ 4 ຈຸດ, ງໍ RT4 ຈຸດ, 1300 °C
ຂະໜາດເມັດພືດ	2 – 10 ໄມຄຣອນ	SEM

ຄຸນສົມບັດທາງຄວາມຮ້ອນຂອງ SiC

ການນຳຄວາມຮ້ອນ	250 ວັດ/ແມັດ°K	ວິທີການແຟລດເລເຊີ, RT
ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ (CTE)	4.5 x 10-6°K	ອຸນຫະພູມຫ້ອງເຖິງ 950 °C, ເຄື່ອງວັດຄວາມກວ້າງຂອງຊິລິກາ