Perahu/Menara Wafer SiC

Detail Produk

ProdukDdeskripsi

Perahu Wafer Karbida Silikon banyak digunakan sebagai penahan wafer dalam proses difusi suhu tinggi.

Keuntungan:

Tahan suhu tinggi:penggunaan normal pada 1800 ℃

Konduktivitas termal tinggi:setara dengan bahan grafit

Kekerasan tinggi:kekerasan kedua setelah berlian, boron nitrida

Tahan korosi:asam kuat dan alkali tidak memiliki korosi padanya, ketahanan korosi lebih baik daripada tungsten karbida dan alumina

Ringan:kepadatan rendah, dekat dengan aluminium

Tidak ada deformasi: koefisien ekspansi termal rendah

Tahan terhadap guncangan termal:dapat menahan perubahan suhu yang tajam, tahan guncangan termal, dan memiliki kinerja yang stabil

Sifat Fisik SiC

Milik	Nilai	Metode
Kepadatan	3,21 gram/cc	Tenggelam-apung dan dimensi
Panas spesifik	0,66 J/gram °K	Kilatan laser berdenyut
Kekuatan lentur	450 MPa560 MPa	Tekukan 4 titik, Tekukan RT4 titik, 1300°
Ketahanan terhadap patahan	2,94 MPa m1/2	Mikroindentasi
Kekerasan	2800	Vicker's, beban 500g
Modulus ElastisitasModulus Young	450 GPa430 GPa	Tekukan 4 titik, Tekukan RT4 titik, 1300 °C
Ukuran butiran	Ukuran 2 – 10 µm	SEJARAH