ProdukDdeskripsi
Wafer Boat berbahan silikon karbida banyak digunakan sebagai dudukan wafer dalam proses difusi suhu tinggi.
Keuntungan:
Ketahanan terhadap suhu tinggi:penggunaan normal pada suhu 1800 ℃
Konduktivitas termal tinggi:setara dengan material grafit
Kekerasan tinggi:kekerasannya hanya kalah dari intan, boron nitrida
Ketahanan terhadap korosi:Asam kuat dan basa tidak menyebabkan korosi, ketahanan korosinya lebih baik daripada tungsten karbida dan alumina.
Ringan:kepadatan rendah, mendekati aluminium
Tidak ada deformasi: koefisien ekspansi termal rendah
Ketahanan terhadap guncangan termal:Ia mampu menahan perubahan suhu yang tajam, tahan terhadap guncangan termal, dan memiliki kinerja yang stabil.
Sifat Fisik SiC
| Milik | Nilai | Metode |
| Kepadatan | 3,21 g/cc | Tenggelam-mengapung dan dimensi |
| Kalor spesifik | 0,66 J/g °K | Kilatan laser berdenyut |
| Kekuatan lentur | 450 MPa 560 MPa | Tekukan 4 titik, tekukan RT4 titik, 1300° |
| Ketahanan terhadap patahan | 2,94 MPa m1/2 | Mikroindentasi |
| Kekerasan | 2800 | Vicker's, muatan 500g |
| Modulus Elastisitas Modulus Young | 450 GPa 430 GPa | Tekukan 4 titik, tekukan RT4 titik, 1300 °C |
| Ukuran butir | 2 – 10 µm | SEM |
Sifat Termal SiC
| Konduktivitas Termal | 250 W/m °K | Metode kilat laser, RT |
| Ekspansi Termal (CTE) | 4,5 x 10⁻⁶ °K | Suhu ruangan hingga 950 °C, dilatometer silika |
