Barco/Torre de Wafer de SiC

Detalhes do produto

ProdutoDdescrição

Os barcos de wafer de carboneto de silício são amplamente utilizados como suporte de wafer em processos de difusão de alta temperatura.

Vantagens:

Resistência a altas temperaturas:uso normal a 1800 ℃

Alta condutividade térmica:equivalente ao material de grafite

Alta dureza:dureza superada apenas pelo diamante e nitreto de boro

Resistência à corrosão:Ácidos e álcalis fortes não corroem, a resistência à corrosão é melhor do que carboneto de tungstênio e alumina

Peso leve:baixa densidade, próximo ao alumínio

Sem deformação: baixo coeficiente de expansão térmica

Resistência ao choque térmico:pode suportar mudanças bruscas de temperatura, resistir a choques térmicos e tem desempenho estável

Propriedades físicas do SiC

Propriedade	Valor	Método
Densidade	3,21 g/cc	Afundar-flutuar e dimensionar
Calor específico	0,66 J/g °K	Flash laser pulsado
Resistência à flexão	450 MPa 560 MPa	Curvatura de 4 pontos, curvatura de 4 pontos RT, 1300°
Tenacidade à fratura	2,94 MPa m1/2	Microindentação
Dureza	2800	Vicker's, carga de 500g
Módulo de elasticidadeMódulo de Young	450 GPa430 GPa	Curvatura de 4 pontos, curvatura RT4 pontos, 1300 °C
Tamanho do grão	2 – 10 µm	SEM

Propriedades térmicas do SiC

Condutividade térmica	250 W/m °K	Método de flash laser, RT
Expansão Térmica (CTE)	4,5 x 10-6 °K	Temperatura ambiente até 950 °C, dilatômetro de sílica